[發明專利]彩色濾光基板以及其相關制作方法

無效

• 申請號: 201210371457.4
• 申請日: 2012-09-29
• 公開（公告）號: CN102854656A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 袁繼旺
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1335
• 分類號: G02F1/1335;G02B5/20;G03F7/00;G03F1/32
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 歐陽啟明

1.一種彩色濾光基板的制作方法，用來制作一彩色濾光基板，所述制作方法包含：提供一玻璃基板；于所述玻璃基板上，形成一黑色矩陣層；其特征在于：所述制作方法另包含：

于所述玻璃基板與所述黑色矩陣層上，沉積一彩色膜層；

利用具有多種透光率的一掩膜，以對所述彩色膜層進行不同程度的曝光顯影；以及

根據曝光顯影的結果，來蝕刻所述彩色膜層，以使所述彩色膜層與所述黑色矩陣層重疊的一第一區域被部分蝕刻，以及所述彩色膜層與所述黑色矩陣層重疊的一第二區域被完全蝕刻。

2.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述掩膜為一半色調掩膜。

3.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述彩色膜層包含一紅色膜層、一藍色膜層、以及一綠色膜層。

4.如權利要求3所述的制作方法，其特征在于：產生所述彩色膜層的步驟包含：于所述玻璃基板與所述黑色矩陣層上產生所述紅色膜層，利用所述掩膜，對所述紅色膜層進行不同程度的曝光顯影；以及根據曝光顯影的結果，來蝕刻所述紅色膜層。

5.一種彩色濾光基板，包含一玻璃基板；其特征在于：所述彩色濾光基板另包含：

一黑色矩陣層，位于所述玻璃基板上；以及

一彩色膜層，位于所述玻璃基板以及所述黑色矩陣層上；

其中，所述彩色膜層與所述黑色矩陣層的重疊處與未重疊處的高度大致相等。?

6.如權利要求5所述的彩色濾光基板，其特征在于：所述彩色膜層與所述黑色矩陣層的重疊處與未重疊處的高度大致相等，是藉由利用具有多種透光率的一掩膜，以對所述彩色膜層進行不同程度的曝光顯影，并蝕刻所述彩色膜層制作而成。

7.如權利要求6所述的彩色濾光基板，其特征在于：所述掩膜為一半色調掩膜4。

8.如權利要求5所述的彩色濾光基板，其特征在于：所述彩色膜層包含一紅色膜層、一藍色膜層以及一綠色膜層。