[發(fā)明專利]用于半導(dǎo)體功率器件的終端

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210371127.5
• 申請(qǐng)日: 2012-09-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102856356A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-01-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 喻巧群;朱陽(yáng)軍;褚為利;田曉麗;吳振興;陸江
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所;江蘇中科君芯科技有限公司;江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心
• 主分類號(hào): H01L29/06
• 分類號(hào): H01L29/06;H01L29/78;H01L29/739
• 代理公司: 北京市德權(quán)律師事務(wù)所 11302
• 代理人: 劉麗君

1.用于半導(dǎo)體功率器件的終端，其特征在于，包含至少兩層場(chǎng)板和至少一個(gè)場(chǎng)限環(huán)；所述每層場(chǎng)板包含至少兩塊場(chǎng)板，其中，位于主結(jié)正上方的各個(gè)場(chǎng)板互相連接，并且所述主結(jié)與位于該主結(jié)正上方的相應(yīng)場(chǎng)板連接，余下的場(chǎng)板之間通過(guò)絕緣材料隔開(kāi)，同時(shí)所述場(chǎng)板位于終端部分的器件襯底外的上方；所述場(chǎng)限環(huán)位于終端部分的器件襯底里，在所述場(chǎng)限環(huán)的外側(cè)設(shè)置有溝道截止環(huán)；所述上下相鄰各層場(chǎng)板的各塊場(chǎng)板上下交錯(cuò)排列，同時(shí)所述場(chǎng)板在垂直方向上投影疊加形成的截面的面積與整個(gè)終端的橫截面積相等。

2.如權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體功率器件的終端，其特征在于，所述場(chǎng)板的層數(shù)為兩層，即第一層場(chǎng)板和第二層場(chǎng)板，所述第一層場(chǎng)板的每塊場(chǎng)板分別與位于各該場(chǎng)板下方的場(chǎng)限環(huán)連接，所述溝道截止環(huán)與位于該溝道截止環(huán)上的場(chǎng)板連接。

3.如權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體功率器件的終端，其特征在于，所述場(chǎng)板的層數(shù)為兩層，即第一層場(chǎng)板和第二層場(chǎng)板，所述第一層場(chǎng)板的每塊場(chǎng)板與位于各該場(chǎng)板下方的場(chǎng)限環(huán)和溝道截止環(huán)通過(guò)絕緣材料隔開(kāi)。

4.如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的用于半導(dǎo)體功率器件的終端，其特征在于，所述第一層場(chǎng)板的各個(gè)場(chǎng)板包含至少一級(jí)。

5.如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的用于半導(dǎo)體功率器件的終端，其特征在于，所述主結(jié)和所述場(chǎng)限環(huán)都是重?fù)诫s的第二導(dǎo)電類型，所述溝道截止環(huán)是重?fù)诫s的第一導(dǎo)電類型。

6.如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的用于半導(dǎo)體功率器件的終端，其特征在于，所述第一層場(chǎng)板、第二層場(chǎng)板和絕緣材料層在制作器件有源區(qū)的過(guò)程中同時(shí)形成。