[發明專利]用于側面開蓋的激光系統裝調的氣簾裝置及環境隔離裝置

有效

• 申請號: 201210370465.7
• 申請日: 2012-09-27
• 公開（公告）號: CN102914022A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發明（設計）人: 樊仲維;張晶;林蔚然
• 申請（專利權）人: 北京國科世紀激光技術有限公司
• 主分類號: F24F9/00
• 分類號: F24F9/00
• 代理公司: 北京泛華偉業知識產權代理有限公司 11280
• 代理人: 王勇;王博

1.一種用于側面開蓋的激光系統裝調的氣簾裝置，包括剛性管和供氣裝置，所述剛性管的兩端具有氣體入口和氣體出口，所述供氣裝置與所述剛性管的氣體入口連接，所述剛性管的下側壁具有多個均勻排列的小孔。

2.根據權利要求1所述的氣簾裝置，其特征在于，所述剛性管為金屬管。

3.根據權利要求1所述的氣簾裝置，其特征在于，所述小孔的中心之間的間隔不大于1.5cm。

4.根據權利要求1所述的氣簾裝置，其特征在于，每個所述小孔的面積為0.19~1.76cm²。

5.根據權利要求1所述的氣簾裝置，其特征在于，所述氣體入口處的氣壓可控。

6.一種用于側面開蓋的激光系統裝調的環境隔離裝置，包括權利要求1至6中任一項所述的氣簾裝置，所述氣簾裝置安裝在激光系統的箱體內部，用于在靠近前側箱壁一側生成平行于所述前側箱壁的氣簾。

7.根據權利要求6所述的氣簾裝置，其特征在于，所述剛性管從所述激光系統的箱體內部穿過，所述剛性管靠近所述激光系統的箱體的頂部和前側箱壁。

8.根據權利要求7所述的環境隔離裝置，其特征在于，所述環境隔離裝置還包括空氣粒子計數器，所述空氣粒子計數器用于在所述氣體入口處施加不同氣壓時實時測量箱體內部的潔凈度。

9.一種基于權利要求7所述的環境隔離裝置的環境隔離方法，其特征在于，包括下列步驟：

1）利用一個與待調試激光系統箱體完全一致的參考箱體測出使潔凈度滿足要求的氣體入口處的氣壓取值區間；

2）在對激光系統進行實際調試時，在激光系統未打開前側箱壁之前，在剛性管的氣體入口處通入小壓力氣體并保持一定時間以使所述氣體充滿所述箱體內部，緩慢將前側箱壁螺釘松開，而后將氣體壓力增大至利用參考箱體所測得的氣壓取值區間內以形成氣簾，再迅速打開激光系統的前側箱壁。

10.根據權利要求9所述的環境隔離方法，其特征在于，所述步驟1）包括：將氣簾裝置安裝到參考箱體中，將空氣粒子計數器安放在參考箱體內部，調節氣簾裝置的氣壓，從而改變氣簾的氣體流速，同時用空氣粒子計數器實時測量參考箱體內部的潔凈度，測出使潔凈度滿足要求的氣壓取值區間。