[發明專利]一種高效多晶硅的鑄錠方法

有效

• 申請號: 201210369656.1
• 申請日: 2012-09-28
• 公開（公告）號: CN102899720A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 黃新明;鐘根香;明亮
• 申請（專利權）人: 東海晶澳太陽能科技有限公司;南京工業大學
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 廣州知友專利商標代理有限公司 44104
• 代理人: 李海波

1.一種高效多晶硅的鑄錠方法，其特征是含以下步驟：

(1)對普通鑄錠爐熱場結構進行改造，在鑄錠爐兩側加熱器下方50~300mm范圍內設置隔熱條；

(2)將硅料和電活性摻雜劑裝入石英坩堝內，把裝好料的石英坩堝送進鑄錠爐；

(3)給加熱器供電進行加熱，使硅料和電活性摻雜劑熔化，完全熔化時坩堝底部溫度控制在1400~1420℃；

(4)長晶初期，調節加熱器溫度為1425~1440℃，并將隔熱底板迅速打開，調節隔熱底板的開度在1~8cm，沿坩堝底部縱向生長一層樹枝狀的晶體；

(5)長晶中后期，控制固液相的溫度梯度，以底部樹枝狀的晶體為籽晶，并保持平直的固液界面，豎直向上定向凝固生成含有大量孿晶的多晶硅。

2.根據權利要求1所述高效多晶硅的鑄錠方法，其特征是：步驟(1)中所述隔熱條的高度為100~250mm。

3.根據權利要求2所述高效多晶硅的鑄錠方法，其特征是：所述隔熱條的寬度為80~120mm。

4.根據權利要求3所述高效多晶硅的鑄錠方法，其特征是：所述隔熱條的材質為耐高溫的碳氈。

5.根據權利要求1所述高效多晶硅的鑄錠方法，其特征是：步驟(2)中所述電活性摻雜劑為硼、磷或鎵。

6.根據權利要求1所述高效多晶硅的鑄錠方法，其特征是：步驟(3)中完全熔化時加熱器的溫度為1500℃~1560℃。

7.根據權利要求1所述高效多晶硅的鑄錠方法，其特征是：步驟(3)中給加熱器供電進行加熱，使硅料和電活性摻雜劑熔化時，將隔熱底板關閉，至原料全部熔化。

8.根據權利要求1所述高效多晶硅的鑄錠方法，其特征是：步驟(5)中將隔熱底板以平均8mm/h的速度打開。

9.根據權利要求1所述高效多晶硅的鑄錠方法，其特征是：步驟(5)中生成含有大量孿晶的多晶硅切片后，硅片中的孿晶面積占整個硅片面積的80%以上。