[發明專利]光學掃描裝置

有效

• 申請號: 201210367724.0
• 申請日: 2012-09-28
• 公開（公告）號: CN103033931A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 田中豐樹;山田司;西山隆彥
• 申請（專利權）人: 三美電機株式會社
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 丁文蘊;鄭永梅

技術領域

本發明涉及光學掃描裝置，尤其涉及從兩側利用扭桿支撐具有鏡反射面的鏡部，并使該鏡部以該扭桿為軸擺動，從而使由上述鏡反射面反射的光進行掃描的光學掃描裝置。

背景技術

以往，已知有如下光學掃描裝置，具備：具有使入射光反射的反射面的可動板；可轉動地軸支撐可動板的扭梁；以及對扭梁作用扭轉方向的驅動力的驅動部，為了抑制轉動時反射面的變形，在包含可動板與扭梁的連接部分附近的背面形成有肋（例如，參照專利文獻1）。

專利文獻1：日本特開2010-128116號公報

可是，在上述的專利文獻1記載的結構中，雖然反射面的變形能夠修正，但存在應力集中在肋結構的周邊而容易產生破損的問題。另外，即使沒達到破損的程度，但由于在肋結構的周邊反復施加應力，因此還存在產生材料疲勞而導致性能劣化的問題。

發明內容

因此，本發明的目的在于提供一種光學掃描裝置，能夠緩和施加于鏡部的應力，減少破損和材料疲勞。

為了實現上述目的，本發明的一個方式的光學掃描裝置從兩側利用扭桿50支撐具有鏡反射面10的鏡部40～43，并使該鏡部以該扭桿50為軸X擺動，從而使由上述鏡反射面10反射的光進行掃描，其特征在于，上述鏡部40～43在通過上述鏡反射面10的中心且垂直于上述軸X的垂直軸Y和上述鏡反射面10的端點的交點與上述扭桿50之間，具有緩和由上述扭桿50的扭轉運動產生的應力的應力緩和區域20、22～24。

另外，上述應力緩和區域20、22～24優選具有從上述扭桿50向上述鏡反射面10逐漸擴展的平面形狀。

另外，上述應力緩和區域20、22～24的端部21不包含角部。

另外，上述應力緩和區域20、22～24也可以是具有狹縫30～38的結構。

另外，上述狹縫30～38也可以配置成關于上述軸X對稱。

另外，上述狹縫30～38也可以具有多個。

另外，上述狹縫30～38也可以具有偶數個。

另外，上述狹縫30～38也可以具有圓弧狀的形狀。

另外，在上述鏡反射面10的背面優選形成有肋11。

另外，上述狹縫30～38優選與上述肋11隔開距離設置。

另外，上述扭桿50也可以設置于上述鏡部40～43的周圍，并且與具有使上述鏡部40～43繞上述軸X擺動的驅動源71的水平驅動梁70連結，該水平驅動梁70與包圍周圍且具有與上述肋11相同厚度的可動框80連結，在該可動框80上設有具有與上述水平驅動梁70相同厚度的減薄部81。

另外，上述減薄部81僅設置于與上述軸X的延伸方向一致的區域。

另外，上述減薄部81也可以為凹部，并且是在上述可動框80上設置多個的結構。

另外，優選上述凹部為大致三角形狀，以未形成上述凹部的具有與上述肋11相同厚度的部分82沿上述可動框80形成曲折形狀的方式，頂點的方向沿上述可動框80交替配置。

另外，優選上述可動框80與垂直驅動機構110連結，該垂直驅動機構110從兩側支撐上述可動框80，并且使上述可動框80繞與上述軸X垂直的上述垂直軸Y擺動，該垂直驅動機構110具有在與上述軸X平行地配置的多個矩形的梁上分別設有驅動源91的多個垂直驅動梁90，該垂直驅動梁90的一端連結于位于內側的該垂直驅動梁90或上述可動框80的一端，另一端連結于位于外側的該垂直驅動梁90的一端或支撐上述垂直驅動機構的支架120，并且該垂直驅動梁90作為整體以曲折的方式連結，上述垂直驅動機構110包含偶數個上述垂直驅動梁90。

另外，上述驅動源71、81也可以為壓電元件。

本發明具有如下有益效果。

根據本發明，能夠緩和施加于鏡部的應力，減少破損和材料疲勞。

附圖說明

圖1是表示本發明的實施例1的光學掃描裝置的一例的表面側的立體圖。

圖2是表示本發明的實施例1的光學掃描裝置的一例的背面側的立體圖。

圖3是用于更詳細地說明實施例1的光學掃描裝置的應力緩和結構的圖。圖3（A）是實施例1的光學掃描裝置的鏡部周邊的表面側的結構圖。圖3（B）是實施例1的光學掃描裝置的鏡部周邊的背面側的結構圖。

圖4是表示實施例1的光學掃描裝置的鏡部的鏡反射面與應力緩和區域的尺寸關系的圖。