[發明專利]真空泵

有效

• 申請號: 201210367436.5
• 申請日: 2012-09-25
• 公開（公告）號: CN103104539A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發明（設計）人: 關田幸照
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D29/059
• 分類號: F04D29/059;F04D29/05;F04D19/04
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種真空泵，以滾珠軸承來支撐形成著排氣功能部的轉子，且利用電動機使所述轉子旋轉而進行真空排氣；其特征在于包括：

保持機構，從軸向夾持所述滾珠軸承的外輪，且以使該外輪可沿徑向移動的方式保持該外輪；

外殼，形成在泵基座上，且收納所述保持機構；以及

彈性部件，在所述外殼內，接觸或接近于所述外輪的外周側而設置。

2.根據權利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述彈性部件是以隔著間隙包圍所述外輪的外周的方式而設置的環狀的彈性部件，且

至少在所述間隙內注入有油或油脂。

3.根據權利要求2所述的真空泵，其特征在于包括：

外周側間隙，形成于所述彈性部件的外周和所述外殼之間；及

油或油脂，注入到所述外周側間隙內。

4.根據權利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述彈性部件是以與所述外輪的外周面軸向中央接觸的方式進行設置、且以在該外輪的外周面和所述外殼之間形成間隙的方式進行配置的環狀彈性部件，且

至少在所述間隙內注入有油或油脂。

5.根據權利要求1-4中任一權利要求所述的真空泵，其特征在于：

由金屬形成所述彈性部件。

6.根據權利要求1-4中任一權利要求所述的真空泵，其特征在于：

所述保持機構包括，

一對壓板，分別配設在所述外輪的軸向兩端；及

彈性支撐部件，配設在所述一對壓板的每一個與所述外殼之間。