[發明專利]一種承載臺

在審

• 申請號: 201210366854.2
• 申請日: 2012-09-27
• 公開（公告）號: CN102881623A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 華良;包中誠;陳超;華俊杰
• 申請（專利權）人: 上海宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

技術領域

本發明涉及集成電路制造領域，特別涉及一種承載臺（Cassette?Index?Platform）。

背景技術

在集成電路制造過程中，一片晶圓需要經過很多的工序才能夠完成，通常，業內在一個具有卡匣（cassette）的晶圓盒（pod）內存放25片，在加工時則用機械手臂取出相應的晶圓。

然而上述設計不可避免的存在一個潛在危險，那就是由于機械手臂不具有自主判斷能力，只能機械的執行命令，則當cassette移位，如cassette本身在pod內的位置不正確，或由于設備承載cassette的承載臺位置異常時，就會發生諸如撞片，疊片等異常現象，如此會造成當前片受損，并很有可能對整批25片都產生影響，形成很惡劣的缺陷（defect），導致整批報廢。

AMAT公司研發的用于刻蝕工藝的APPLIED?Centura?II設備同樣具有承載臺，請參考圖1和圖2，其具體結構為：包括支撐臺1，所述支撐臺1上具有3個有螺孔的突起11、12、13；定位裝置2，所述定位裝置2具有多個通孔5，螺栓31、32、33與突起11、12、13一一對應并通過通孔5與突起內的螺孔擰合在一起，使得支撐臺1與定位裝置2連接；支撐臺1和定位裝置2之間有彈簧4，所述彈簧嵌套在突起11、12、13和螺栓31、32、33上。該承載臺能夠對cassette進行定位，從而有利于機械手臂伸到cassette中取/送晶圓。

事實證明，該結構不穩定性差，隨著過貨的累積，不斷的重量沖擊使得螺栓松動，從而導致定位裝置2發生移動，則置于其上的cassette也會隨之產生傾斜等位置問題，在此情況下，機械手臂的運動就會導致諸如撞片等事情發生，產生極大的不良影響。且在上述情況發生后，需要對3個螺栓重新定位，重新獲取所需要的位置，這也需要耗費較多的時間和人力物力投入，不利于高效生產。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種承載臺，以改進現有結構中定位裝置穩定性差的問題。

為解決上述技術問題，本發明提供一種承載臺，包括：

支撐臺，所述支撐臺上具有多個有第一固定孔的突起；

定位裝置，用于晶圓傳輸時的定位，所述定位裝置具有多個通孔；

固定件，所述固定件通過所述通孔與所述第一固定孔，將所述定位裝置與所述支撐臺連接；

緊固件，所述緊固件用于鎖定固定件。

可選的，對于所述的承載臺，所述固定件為螺栓。

可選的，對于所述的承載臺，所述第一固定孔內側具有螺紋。

可選的，對于所述的承載臺，所述螺栓穿過所述通孔與所述第一固定孔相擰合。

可選的，對于所述的承載臺，所述緊固件為螺帽。

可選的，對于所述的承載臺，所述螺帽擰于所述螺栓上并緊靠所述突起。

可選的，對于所述的承載臺，所述緊固件為螺栓。

可選的，對于所述的承載臺，所述定位裝置還具有多個側孔和第二固定孔。

可選的，對于所述的承載臺，所述第二固定孔具有螺紋。

可選的，對于所述的承載臺，所述側孔和第二固定孔共軸線且所述軸線通過所述通孔。

可選的，對于所述的承載臺，所述固定件頂部具有連接孔。

可選的，對于所述的承載臺，所述緊固件穿過側孔和連接孔與第二固定孔相固定。

可選的，對于所述的承載臺，所述第一固定孔與通孔一一對應。

可選的，對于所述的承載臺，還包括多個緩沖裝置，所述緩沖裝置嵌套在所述突起上。

可選的，對于所述的承載臺，所述緩沖裝置的高度大于所述突起的高度。

可選的，對于所述的承載臺，所述定位裝置置于所述緩沖裝置上。

可選的，對于所述的承載臺，所述緩沖裝置為彈簧。

本發明提供的承載臺中，通過使用緊固件，使得固定件處于比較牢固的狀態，或者將固定件和定位裝置固定在一起，避免了現有技術中由于過貨較多而導致固定件松動，從而導致定位裝置位置發生變化，進而使得晶圓受損的問題，同時固定件的采用能夠防范于未然，也不會浪費人力物力，極大的提高了生產效率。

附圖說明

圖1為現有技術的承載臺的主視圖；

圖2為現有技術的承載臺的俯視圖；

圖3為本發明實施例一的承載臺的主視圖；

圖4為本發明實施例一的承載臺的俯視圖

圖5為本發明實施例二的承載臺的主視圖；

圖6為本發明實施例二的承載臺的俯視圖；