[發(fā)明專利]爐體排風(fēng)控制裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210365936.5
• 申請(qǐng)日: 2012-09-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102889791A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫少東;董金衛(wèi);趙燕平;鐘華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): F27D19/00
• 分類號(hào): F27D19/00
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國(guó)勝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝熱處理領(lǐng)域，尤其是涉及一種爐體排風(fēng)控制裝置。

背景技術(shù)

目前在半導(dǎo)體工藝熱處理領(lǐng)域中，爐體排風(fēng)控制裝置的結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，現(xiàn)有排風(fēng)控制裝置的開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)，多采用輪式往復(fù)運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)或繞固定點(diǎn)旋轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)需要較大的安裝及操作空間，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，缺乏穩(wěn)定性，對(duì)爐體的隔熱效果不理想，成本較高，安全隱患較多。

為了解決以上問(wèn)題，本發(fā)明做了有益改進(jìn)。

發(fā)明內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問(wèn)題

本發(fā)明的目的是提供一種通過(guò)氣動(dòng)單元，準(zhǔn)確有效地實(shí)現(xiàn)爐體冷卻排風(fēng)的開(kāi)關(guān)控制，并能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控氣動(dòng)單元的動(dòng)作狀態(tài)的爐體排風(fēng)控制裝置。

（二）技術(shù)方案

本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：一種爐體排風(fēng)控制裝置，其包括氣壓驅(qū)動(dòng)單元、開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)和風(fēng)口結(jié)構(gòu)單元，所述的開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)設(shè)置有開(kāi)關(guān)主體，所述的氣壓驅(qū)動(dòng)單元可驅(qū)動(dòng)該開(kāi)關(guān)主體，使該開(kāi)關(guān)主體直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，從而執(zhí)行對(duì)風(fēng)口結(jié)構(gòu)單元的開(kāi)啟和關(guān)閉動(dòng)作。

進(jìn)一步，所述的開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)還包括開(kāi)關(guān)連接部，所述的開(kāi)關(guān)主體與該開(kāi)關(guān)連接部相連；所述的氣壓驅(qū)動(dòng)單元包括氣缸，所述的氣缸與所述的開(kāi)關(guān)連接部相連，該氣缸通過(guò)該開(kāi)關(guān)連接部帶動(dòng)所述的開(kāi)關(guān)主體運(yùn)動(dòng)；所述的氣缸處于其行程的兩個(gè)終點(diǎn)位置時(shí)，所述的開(kāi)關(guān)主體處于對(duì)風(fēng)口結(jié)構(gòu)單元的開(kāi)啟狀態(tài)和關(guān)閉狀態(tài)。

此外，所述的開(kāi)關(guān)主體為耐高溫隔熱材料制成。

再進(jìn)一步，所述的氣壓驅(qū)動(dòng)單元還包括氣缸連接部，所述的氣缸與氣缸連接部相連；所述的氣缸連接部的端部設(shè)置有柱形安裝銷；所述的開(kāi)關(guān)連接部設(shè)有長(zhǎng)圓孔，該長(zhǎng)圓孔的長(zhǎng)度方向?yàn)樨Q直方向，所述的柱形安裝銷橫向地安裝在所述的長(zhǎng)圓孔中，所述的開(kāi)關(guān)連接部與氣缸連接部通過(guò)該柱形安裝銷相連。

此外，所述的氣壓驅(qū)動(dòng)單元還包括氣缸固定架，所述的氣缸固定架的端部設(shè)有安裝通孔，且所述的氣缸通過(guò)螺母固定在所述的氣缸固定架上；旋松所述的螺母，可調(diào)整該氣缸在氣缸動(dòng)作方向上的位置。

進(jìn)一步，所述的開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)還包括開(kāi)關(guān)罩板，所述的開(kāi)關(guān)罩板設(shè)置在開(kāi)關(guān)主體上；所述的開(kāi)關(guān)連接部與該開(kāi)關(guān)罩板固定連接。

進(jìn)一步，還包括開(kāi)關(guān)狀態(tài)監(jiān)控單元；所述的開(kāi)關(guān)狀態(tài)監(jiān)控單元上設(shè)置有第一位置信號(hào)開(kāi)關(guān)、第二位置信號(hào)開(kāi)關(guān)和開(kāi)關(guān)觸板；所述的開(kāi)關(guān)連接部與所述的開(kāi)關(guān)觸板連接，在所述的氣缸行程的兩個(gè)終點(diǎn)，所述的開(kāi)關(guān)連接部帶動(dòng)所述的開(kāi)關(guān)觸板，使該開(kāi)關(guān)觸板分別觸發(fā)所述的第一位置信號(hào)開(kāi)關(guān)和第二位置信號(hào)開(kāi)關(guān)。

此外，所述的風(fēng)口結(jié)構(gòu)單元包括風(fēng)口隔熱板和風(fēng)口隔熱罩，所述的風(fēng)口隔熱罩設(shè)在所述的風(fēng)口隔熱板上；所述的風(fēng)口隔熱板和風(fēng)口隔熱罩上分別設(shè)有第一通孔和第二通孔；所述的風(fēng)口隔熱板和風(fēng)口隔熱罩之間形成半密封空間，用于容納開(kāi)關(guān)主體，用于容納開(kāi)關(guān)主體；所述的半密封空間的側(cè)部設(shè)有一個(gè)開(kāi)口，用于通過(guò)開(kāi)關(guān)主體，所述的開(kāi)關(guān)主體穿過(guò)該開(kāi)口并可在所述的半封閉空間直線往復(fù)移動(dòng)；在開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)開(kāi)啟狀態(tài)下，所述的第一通孔和第二通孔形成通路；在開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)關(guān)閉狀態(tài)下，所述的開(kāi)關(guān)主體完全隔斷第一通孔和第二通孔。

其中，所述的開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)在開(kāi)關(guān)主體的兩側(cè)設(shè)置有導(dǎo)向桿，所述的開(kāi)關(guān)主體兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)向桿安裝部，所述的風(fēng)口結(jié)構(gòu)單元設(shè)置有與所述的導(dǎo)向桿相對(duì)應(yīng)的導(dǎo)向座；所述的導(dǎo)向桿一端與所述的導(dǎo)向桿安裝部固定相連，該導(dǎo)向桿的另一端置于所述的導(dǎo)向座內(nèi)且可沿該導(dǎo)向座移動(dòng)。

所述風(fēng)口結(jié)構(gòu)單元還包括隔熱罩固定板，所述隔熱罩固定板安裝在風(fēng)口隔熱罩外部，該隔熱罩固定板將風(fēng)口隔熱罩與風(fēng)口隔熱板固定連接在一起。

進(jìn)一步，所述導(dǎo)向座與所述隔熱罩固定板為一體式結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步，所述的開(kāi)關(guān)主體上設(shè)置有上滑條，在所述的風(fēng)口結(jié)構(gòu)單元的半封閉空間中設(shè)置有與所述上滑條相對(duì)應(yīng)的下滑條，且該上滑條可在下該滑條上相對(duì)滑動(dòng)。

其中，所述的上滑條和下滑條的材質(zhì)為陶瓷。

此外，所述的開(kāi)關(guān)主體在其動(dòng)作方向上的前、后端分別設(shè)有凸緣結(jié)構(gòu)，在所述的開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)處于開(kāi)啟或關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，該開(kāi)關(guān)主體前、后端的凸緣結(jié)構(gòu)能夠分別卡置于所述的半封閉空間側(cè)部開(kāi)口的端面。

（三）有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)和產(chǎn)品相比，本發(fā)明有如下優(yōu)點(diǎn)：

1.本發(fā)明能夠利用實(shí)時(shí)的監(jiān)控單元，有效對(duì)爐體排風(fēng)的開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，使?fàn)t體排風(fēng)控制可靠安全；

2.本發(fā)明能夠有效阻擋爐體熱量的逸出，具有良好的隔熱效果；

3.本發(fā)明的爐體排風(fēng)控制裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能夠進(jìn)行精確運(yùn)作，且成本較低。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)圖；

圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)俯視圖；