[發(fā)明專利]一種自動化物料處理系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210365633.3
• 申請日: 2012-09-27
• 公開（公告）號: CN102874597A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發(fā)明（設計）人: 楊政諭
• 申請（專利權(quán)）人: 亞翔系統(tǒng)集成科技（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: B65G49/00
• 分類號: B65G49/00
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 陶海鋒;陸金星

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種自動化物料處理系統(tǒng)，可用于平面顯示器制造領(lǐng)域中。

背景技術(shù)

自動化物料處理系統(tǒng)（AMHS，Automatic?Material?Handling?System），又稱天車系統(tǒng)。這種搬送系統(tǒng)的應用范圍較廣，例如機場的貨物運輸、自動化工廠的物料運輸?shù)龋划擜MHS應用于平面顯示器制造領(lǐng)域時，由于平面顯示器的制造依賴于不同的處理設備的多重工藝步驟，這需要利用自動化物料處理系統(tǒng)（AMHS）在處理設備之間傳送產(chǎn)品。

現(xiàn)有的自動化物料處理系統(tǒng)（AMHS）參見附圖1所示，主要包括自動化物料處理系統(tǒng)和多個程序加工區(qū)1（Process?Bays）；其中，程序加工區(qū)內(nèi)設有各種加工設備15；自動化物料處理系統(tǒng)包括加工區(qū)間自動輸送軌道回路2和多個儲存?zhèn)}3（Stocker），所述儲存?zhèn)}之間的傳遞是藉由加工區(qū)間自動輸送軌道回路內(nèi)的懸掛式搬運系統(tǒng)16所完成。

現(xiàn)有的加工區(qū)間自動輸送軌道回路一般近似矩形或圓角矩形，參見附圖1所示，懸掛式搬運系統(tǒng)運轉(zhuǎn)于加工區(qū)間自動輸送軌道回路中；所述各個儲存?zhèn)}分別位于程序加工區(qū)的一側(cè)，每個儲存?zhèn)}包含一些垂直堆疊的儲存箱，用以承載平面卡匣。

圖2為圖1的A-A剖視圖，由圖可見，現(xiàn)有的加工區(qū)間自動輸送軌道回路從上到下包括三層空間：架構(gòu)空間4（TRUSS）、潔凈空間5（FAB）和循環(huán)空間6（SUBFAB）；架構(gòu)空間和潔凈空間之間設有天花板7，天花板上設有風機濾器單元9（FFU，F(xiàn)an?Filter?Units），現(xiàn)有的天花板上設有通氣孔，以使FFU提供的過濾后的空氣進入潔凈空間；潔凈空間和循環(huán)空間之間設有高架地板17，高架地板上設有透氣孔，以便氣體通過循環(huán)。

現(xiàn)有的自動化物料處理系統(tǒng)（AMHS）一般是整體設置于一大型潔凈空間內(nèi)（如大型生產(chǎn)車間內(nèi)），以實現(xiàn)物料的運輸及處理。然而，現(xiàn)有的自動化物料處理系統(tǒng)中的所使用的潔凈空氣和多個程序加工區(qū)所使用的潔凈空氣都是和廠房的大型潔凈空間的潔凈空氣直接連通并混合，在實際應用中發(fā)現(xiàn)，由于程序加工區(qū)內(nèi)設有很多加工設備，這些設備在生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生各種廢氣或腐蝕性氣體（如氯氣、氯化氫等），一旦這些腐蝕性氣體溢出后，這些氣體會跑到外部的大型潔凈空間內(nèi)，從而直接和自動化物料處理系統(tǒng)中的產(chǎn)品接觸，尤其是和儲放于儲存?zhèn)}（Stocker）的產(chǎn)品直接接觸，這便大大影響了產(chǎn)品的質(zhì)量；而此種情況一旦發(fā)生后則很難去除。

另一方面，為了維持潔凈空間內(nèi)的潔凈度和恒溫，需要形成一定風量的空氣循環(huán)，這就對循環(huán)空間（SUBFAB）以及設于其內(nèi)的干盤管提出了要求，由于儲存?zhèn)}（Stocker）的循環(huán)風量必須與大型潔凈空間的循環(huán)風量一起處理，循環(huán)風量較大，因此現(xiàn)有的循環(huán)空間的高度都比較高，建造成本較高。

又另一方面，考慮少數(shù)加工設備對微振動的需求，往往為了這些設備而全面整廠建造華夫板(Waffle?Slab)，增加建廠時間及成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的發(fā)明目的是提供一種自動化物料處理系統(tǒng)。

為達到上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種自動化物料處理系統(tǒng)，包括自動化物料處理系統(tǒng)和至少1個程序加工區(qū)，所述自動化物料處理系統(tǒng)包括加工區(qū)間自動輸送軌道回路和至少1個儲存?zhèn)}；所述自動化物料處理系統(tǒng)從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設有天花板，潔凈空間和循環(huán)空間之間設有高架地板；所述自動化物料處理系統(tǒng)的四周圍設有隔板，使其所在的潔凈空間和至少一部分架構(gòu)空間構(gòu)成獨立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。

上文中，所述自動化物料處理系統(tǒng)包括加工區(qū)間自動輸送軌道回路和至少1個儲存?zhèn)}，而儲存?zhèn)}與加工區(qū)設備之間還可以分別設有傳遞系統(tǒng)，該傳遞系統(tǒng)可以包含Robot、Cassette?station、Load/Unload等。

所述加工區(qū)間自動輸送軌道回路一般近似矩形或圓角矩形，懸掛式搬運系統(tǒng)運轉(zhuǎn)于加工區(qū)間自動輸送軌道回路中，所述懸掛式搬運系統(tǒng)可以是OHS。

所述自動化物料處理系統(tǒng)的四周圍設有隔板，并補入新風形成一個相對于大型潔凈空間為正壓的潔凈微環(huán)境，因而當加工設備中有腐蝕性氣體溢出并跑到外部的大型潔凈空間內(nèi)之后，也不會進入自動化物料處理系統(tǒng)，從而避免了這些氣體對產(chǎn)品質(zhì)量的影響。

將所述自動化物料處理系統(tǒng)所在的潔凈空間和至少一部分架構(gòu)空間構(gòu)成獨立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)，即隔板的底部只達到高架地板上，而未深入下方的循環(huán)空間；隔板的頂部部分深入架構(gòu)空間之中。