[發明專利]潔凈室及其凈化單元

有效

• 申請號: 201210364869.5
• 申請日: 2012-09-26
• 公開（公告）號: CN102864952A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 蔣運芍;吳俊豪;林昆賢;汪永強;舒志優;郭振華
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: E04H5/02
• 分類號: E04H5/02;F24F7/007;B01D50/00;B01D46/00
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 何青瓦

1.一種潔凈室，用于存放玻璃基板，其特征在于，所述潔凈室包括：

排風口，設于所述潔凈室的底部；

凈化單元，設于所述潔凈室的頂部，所述凈化單元用于向所述潔凈室提供潔凈的離子風以消除所述玻璃基板表面的靜電和所述潔凈室內的粒子。

2.根據權利要求1所述的潔凈室，其特征在于：所述凈化單元包括風機、過濾裝置以及負離子凈化器，所述風機吸入空氣后經由所述過濾裝置過濾再經由所述負離子凈化器作用吹出離子風。

3.根據權利要求2所述的潔凈室，其特征在于：所述過濾裝置包括預過濾器、高效過濾器以及超高效過濾器。

4.根據權利要求3所述的潔凈室，其特征在于：所述潔凈室包括頂板、側板以及底板，所述凈化單元設于所述頂板上，所述排風口設于所述底板上。

5.根據權利要求4所述的潔凈室，其特征在于：所述潔凈室包括儲位架，所述儲位架放置于所述底板上，用于存放卡匣，所述卡匣用于存放所述玻璃基板。

6.根據權利要求5所述的潔凈室，其特征在于：所述潔凈室包括導軌，所述導軌設于所述底板上。

7.根據權利要求6所述的潔凈室，其特征在于：所述潔凈室包括自動化搬運設備，所述自動化搬運設備設于所述導軌上，所述自動化搬運設備包括搬運叉，所述搬運叉用于叉取所述儲位架上的所述卡匣。

8.根據權利要求7所述的潔凈室，其特征在于：所述潔凈室包括抽風機，所述抽風機所述設于所述潔凈室的底部，所述抽風機與所述凈化單元配合形成垂直氣流以減小所述潔凈室內的渦流現象。

9.根據權利要求8所述的潔凈室，其特征在于：所述導軌為雙軌，所述雙軌將所述底板分隔為導軌內區和導軌外區，所述抽風機設于所述導軌內區內和/或所述導軌外區內。

10.一種凈化單元，用于向潔凈室提供潔凈的離子風以消除所述潔凈室內的靜電和粒子，其特征在于，所述凈化單元包括風機、過濾裝置以及負離子凈化器，所述風機吸入空氣后經由所述過濾裝置過濾再經由所述負離子凈化器作用吹出離子風。