[發明專利]機械手以及基板搬送裝置

無效

• 申請號: 201210363945.0
• 申請日: 2012-09-26
• 公開（公告）號: CN103029988A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 原田修;錢景華
• 申請（專利權）人: 株式會社安川電機
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B25J15/06
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

技術領域

本發明公開的實施方式涉及機械手以及基板搬送裝置。

背景技術

以往，已知用于進行對液晶面板的玻璃基板那樣的基板的搬送以及相對于收納盒的取出和放入的基板搬送裝置。

所述基板搬送裝置具有機械手，所述機械手具備多個叉，將基板載置于所述叉上進行搬送。而且，基板搬送裝置將所述叉插入基板的收納盒（下面，記載為“盒”）內來進行基板的取出和放入。

然而，在所述基板的搬送和取出放入時，存在著由于發生所謂的摩擦帶電或剝離帶電等而使基板帶有靜電的情況，在所述靜電放電的時候，有可能導致基板元件的損傷等。

因此，近年來，出現了使用靜電除去裝置等除電器對基板進行除電的基板搬送裝置(例如,參照專利文獻1）。

另外，專利文獻1公開的基板搬送裝置將在機械手的基部設置的靜電除去裝置所產生的離子化氣體經由沿叉配置的配管從叉上的噴出孔噴出，通過將基板所帶的靜電中和來進行除電。

專利文獻1：日本特開2000-82732號公報

然而，在現有的基板搬送裝置中，存在如下問題：在將離子化氣體經由配管導通期間發生離子的再結合，從而無法高效地中和靜電。

發明內容

實施方式的一個方式就是鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供能夠高效地對基板進行除電的機械手和基板搬送裝置。

實施方式的一個方式涉及的機械手具備多個叉、產生部和噴出部。多個叉用于載置基板。產生部設于所述叉的內部，用于產生離子化的氣體。噴出部用于將由所述產生部產生的所述氣體噴出。

此外，實施方式的一個方式涉及的基板搬送裝置具有上述機械手。

根據實施方式的一個方式，能夠高效地對基板進行除電。

附圖說明

圖1是表示包括第一實施方式涉及的機械手和基板搬送裝置的基板搬送系統的結構例的圖。

圖2是表示第一實施方式涉及的機械手的結構例的圖。

圖3是表示靜電除去裝置的設置例的圖。

圖4A是蓋的俯視圖。

圖4B是安裝有蓋的叉的第一縱剖視圖。

圖4C是安裝有蓋的叉的第二縱剖視圖。

圖5A是表示叉的第一除電區域的圖。

圖5B是表示叉的第二除電區域的圖。

圖6是表示變形例涉及的蓋的圖。

圖7A是表示噴出孔的第一成形例的圖。

圖7B是表示噴出孔的第二成形例的圖。

圖8A是表示離子的第一噴出方向例的圖。

圖8B是表示離子的第二噴出方向例的圖。

圖9A是表示第二實施方式涉及的機械手的結構例的圖。

圖9B是表示第三實施方式涉及的機械手的結構例的圖。

標號說明

1：基板搬送系統；

10：基板搬送裝置；

11：升降機構；

12：回轉機構；

13：伸縮機構；

14：支承部件；

15、15A、15B：機械手；

16：基部；

20：控制器；

30：盒；

100：基板；

150：叉；

150a：螺孔；

151：吸附部；

152、152A：帽；

152a：安裝部；

152b：連接孔；

152c：噴出孔；

153：靜電除去裝置；

154、154A、154B：配管；

155：噴出孔；

155a：空氣積存部；

156：開口部；

157：蓋；

200：螺釘。

具體實施方式

下面，參照附圖詳細說明本申請公開的機械手和基板搬送裝置的實施方式。另外，本發明不受下面所示的實施方式限定。

（第一實施方式）

首先，用圖1說明包括第一實施方式涉及的機械手和基板搬送裝置的基板搬送系統的結構例。圖1是表示包括第一實施方式涉及的機械手15和基板搬送裝置10的基板搬送系統1的結構例的圖。

另外，為了便于理解說明，在圖1中圖示了包含以豎直向上為正方向的Z軸的三維直角坐標系。所述直角坐標系在下面說明所采用的其他附圖中有時也會示出。

如圖1所示，基板搬送系統1具有基板搬送裝置10、控制器20和盒30。