[發(fā)明專利]一種MEMS光學探頭

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210363551.5
• 申請日: 2012-09-26
• 公開（公告）號: CN102894947A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 傅霖來;周正偉;王東琳;謝會開
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫微奧科技有限公司
• 主分類號: A61B1/00
• 分類號: A61B1/00;G02B23/24;G02B26/08
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種MEMS光學探頭，包括外殼(7)及其組裝在其內(nèi)部的底座（12）、透鏡組件（11）、MEMS微鏡（9）和電路板（10），其特征在于：所述底座（12）具有凹腔（121）和斜面凹槽（122），所述電路板（10）對應安裝于底座凹腔（121）和斜面凹槽（122）上，在斜面凹槽（122）上端的電路板（10）上設(shè)置有焊盤（101），所述MEMS微鏡（9）安裝在電路板（10）對應焊盤上，所述透鏡組件（11）插入底座（12）凹腔（121）內(nèi)，其內(nèi)部安裝有用于形成聚焦光束的聚焦透鏡（111），用于向MEMS微鏡（9）發(fā)射聚焦光束，所述外殼(7)前端窗口(8)的臺階內(nèi)安裝有窗片（13），所述窗片（13）與外殼(7)的軸向方向相垂直或呈預定角度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS光學探頭，其特征在于：所述窗片（13）形狀為平面或曲面，該窗片（13）采用玻璃或由其它對所用光透明的材料制作而成，并在表面選擇性地設(shè)置光學增透涂層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS光學探頭，其特征在于：所述電路板（10）還包括連接電路板（10）與外部電路的電連接端（2），所述電連接端（2）位于底座凹腔（121）的左側(cè)尾部，用于傳輸外部電路與MEMS微鏡（9）之間的信號。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的MEMS光學探頭，其特征在于：所述透鏡組件（11）內(nèi)的聚焦透鏡（111）具有從30°到70°之間某一特定角度的倒角，具有該倒角角度的聚焦透鏡（111）可以改變聚焦光束的出射方向，從聚焦透鏡（111）發(fā)射出來的聚焦光束直接入射到MEMS微鏡（9）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的MEMS光學探頭，其特征在于：所述聚焦透鏡（111）的端面沒有倒角或具有4-10度之間某一預定角度的倒角，在聚焦透鏡（111）端面添加一個三棱鏡（112），該三棱鏡（112）用來改變聚焦光束的出射方向，從聚焦透鏡（111）發(fā)射出來的聚焦光束經(jīng)過三棱鏡（112）改變方向后入射到MEMS微鏡（9）。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的MEMS光學探頭，其特征在于：在外殼（7）的卡槽內(nèi)安裝有一個反射鏡（113），從聚焦透鏡（111）出來的聚焦光束直接入射到反射鏡（113）上，再由反射鏡（113）反射到MEMS微鏡（9）。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的MEMS光學探頭，其特征在于：所述底座（12）斜面傾斜角為30°到70°之間的某一特定角度，具有該角度的斜面上設(shè)置有MEMS微鏡（9），用于實現(xiàn)光束的側(cè)前向掃描。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS光學探頭，其特征在于：所述電連接部在底座（12）上直接形成，分別在底座（12）上直接形成電引線和焊盤(101)，焊盤(101)位于底座（12）的斜面凹槽（122）內(nèi)，電引線連接焊盤(101)后沿著斜面凹槽（122）直至凹腔（121）并延伸出去和外部電路相連。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的MEMS光學探頭，其特征在于：所述MEMS微鏡（9）設(shè)置鍍有光學涂層的鏡面（901）及其分布于四周的硅襯底（902），兩者之間用連接片（903）橋接連接，在四周設(shè)置邊框（904），在邊框（904）下端設(shè)置有用于導電連接的焊盤（905）。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的MEMS光學探頭，其特征在于：所述MEMS微鏡（9）的外形為圓形、方形或其它多邊形。