[發明專利]有機電致發光顯示裝置的制造方法

無效

• 申請號: 201210362751.9
• 申請日: 2012-09-26
• 公開（公告）號: CN103035851A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 由徳大介;佐藤信彥
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L21/77
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 楊小明

1.一種有機電致發光顯示裝置的制造方法，所述有機電致發光顯示裝置包括多個有機電致發光元件，所述多個有機電致發光元件各自包含有機化合物層，所述有機化合物層至少包含發光層，該方法包括：

在基板上形成有機化合物層；

在所述有機化合物層上依次形成中間層和抗蝕劑層；

通過光刻方法去除抗蝕劑層的一部分；以及

通過干式蝕刻選擇性地去除抗蝕劑層的所述一部分被去除了的區域中的中間層和有機化合物層，

其中，中間層至少包含遮光層，并且，遮光層具有阻擋具有大于或等于190nm且小于或等于360nm的波長的光的功能。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，遮光層被設為關于具有190nm～360nm的波長的光具有5%或更小的透射率。

3.根據權利要求1所述的方法，其中，遮光層具有多個層的疊層構造。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，遮光層包含由氮化硅制成的膜，并且具有2μm或更大的厚度。

5.根據權利要求1所述的方法，

其中，除了遮光層以外，中間層包含剝離層，

其中，剝離層被設置在遮光層與有機化合物層之間，并且，

其中，剝離層由可溶于幾乎不溶解有機化合物層的構成材料的溶劑中的材料制成。

6.根據權利要求5所述的方法，

其中，用于有機化合物層的構成材料包含芳基胺衍生物、芪衍生物、聚芳、以及稠聚環碳氫化合物中的任一個，以及，

剝離層由可溶于水中的材料制成。

7.根據權利要求6所述的方法，其中，剝離層由可溶于水中的聚合物制成。

8.根據權利要求5所述的方法，還包括：在通過干式蝕刻選擇性地去除抗蝕劑層的所述一部分被去除了的區域中的中間層和有機化合物層之后，溶解剝離層并執行遮光層的剝離以去除。

9.根據權利要求1所述的方法，其中，所述有機電致發光顯示裝置包括多個第一有機電致發光元件和多個第二有機電致發光元件，所述多個第二有機電致發光元件中的每個第二有機電致發光元件中的有機化合物層的層構造和發光顏色之一與所述多個第一有機電致發光元件中的每個第一有機電致發光元件的有機化合物層的層構造和發光顏色的所述之一不同，

其中，所述方法多次執行以下的步驟中的每一個：

形成有機化合物層；

在有機化合物層上依次形成中間層和抗蝕劑層；

去除抗蝕劑層的所述一部分；以及

通過干式蝕刻選擇性地去除抗蝕劑層的所述一部分被去除了的區域中的中間層和有機化合物層。