[發明專利]熔絲元件

在審

• 申請號: 201210362607.5
• 申請日: 2012-09-26
• 公開（公告）號: CN103022001A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: J.M.克里斯特曼;W.哈特曼;B.帕爾;S.亞馬扎基;R.澤內里
• 申請（專利權）人: 西門子公司
• 主分類號: H01L23/522
• 分類號: H01L23/522;H01L23/525
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 徐紅燕;劉春元

1.一種熔絲元件（10），包括；

有源熔絲響應部分，其由由以下各項提供的至少兩個平行金屬子條（9）形成：

自支撐細長熔絲金屬條（1）內的至少一個細長凹坑（7）。

2.根據權利要求1所述的熔絲元件（10），

其特征在于由自支撐細長熔絲金屬箔來提供自支撐細長熔絲金屬條（1）。

3.根據權利要求1所述的熔絲元件（10），

其特征在于所述自支撐細長熔絲金屬條（1）是由第一細長熔絲金屬箔提供的，其被電介質材料加強，從而形成自支撐復合材料。

4.根據權利要求2或3所述的熔絲元件（10），

其特征在于所述電介質材料是聚合物層（3）。

5.根據權利要求4所述的熔絲元件（10），

其特征在于所述聚合物層是自支撐聚合物箔。

6.根據權利要求4所述的熔絲元件（10），

其特征在于在與第一細長熔絲金屬箔相對的聚合物層（3）的表面上沉積的第二細長熔絲金屬箔。

7.根據權利要求6所述的熔絲元件（10），

其特征在于

在具有相互之間的橫向偏移的情況下沉積不同細長熔絲金屬箔的平行金屬子條（9）。

8.根據權利要求6或7所述的熔絲元件（10），

其特征在于

兩個平行金屬子條（9）是由每個細長熔絲金屬箔的邊緣區域內的細長凹坑形成的。

9.根據權利要求8所述的熔絲元件（10），

其特征在于自支撐細長熔絲金屬條（1）在熔絲元件的有源響應部分的一個縱向側成角度以提供橫向電連接部分并在響應期間向熔絲元件的有源響應部分的另一縱向側提供驅動弧的電流環路。

10.根據權利要求9所述的熔絲元件（10），

其特征在于自支撐細長熔絲金屬條（1）被保護層（5）覆蓋。

11.根據權利要求10所述的熔絲元件（10），

其特征在于自支撐細長熔絲金屬條（1）的金屬由鋁（Al）、銀（Ag）或銅（Cu）制成。

12.根據權利要求10所述的熔絲元件（10），

其特征在于所述保護層（5）由聚合物材料制成。

13.根據權利要求10所述的熔絲元件（10），

其特征在于保護層（5）由金屬氧化物或二氧化硅SiO₂層制成。

14.根據權利要求8所述的熔絲元件（10），

其特征在于

所述至少兩個并行金屬子條（9）中的每一個沿著其長度包括至少一個彎曲細長邊緣，以便在其形成的同時在兩個邊緣上具有類似的應變速率。

15.根據權利要求8所述的熔絲元件（10），

其特征在于

兩個平行金屬子條（9）是由自支撐細長熔絲金屬條（1）的中間區域內的細長凹坑（7）形成的。

16.一種用于制作由以下步驟制造的熔絲元件（10）的方法：

提供有源熔絲響應部分，其包括通過在自支撐細長熔絲金屬條（1）內產生至少一個細長凹坑（7）形成的至少兩個平行金屬子條（9）。

17.根據權利要求16所述的方法

其特征在于

由自支撐細長熔絲金屬箔來提供自支撐細長熔絲金屬條（1）。

18.根據權利要求16所述的方法，

其特征在于

由被電介質材料加強、從而形成自支撐復合材料的第一細長熔絲金屬箔來提供自支撐細長熔絲金屬條（1）。

19.根據權利要求17或18所述的方法，

其特征在于

所述電介質材料是聚合物層（3）。

20.權利要求19所述的方法，

其特征在于

所述聚合物層（3）是自支撐聚合物箔。

21.權利要求19所述的方法，

其特征在于

在與第一細長熔絲金屬箔相對的聚合物層（3）的表面上疊加第二細長熔絲金屬箔。