[發明專利]磁阻感測組件與磁阻傳感器

有效

• 申請號: 201210362417.3
• 申請日: 2012-09-25
• 公開（公告）號: CN103033772A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 傅乃中;陳光鏡;劉富臺
• 申請（專利權）人: 宇能電科技股份有限公司
• 主分類號: G01R33/09
• 分類號: G01R33/09
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11369
• 代理人: 史霞

1.一種磁阻感測組件，其特征在于，包含：

一長形的水平磁阻層，位于一基板的表面上方，沿著其長度延伸方向具有第一側以及與該第一側相對的第二側；

一導電部，在該水平磁阻層的上方或下方與其電耦合，該長形的水平磁阻層與該導電部構成至少一電流路徑；

一第一磁場感應層，不平行于該基板表面，在該水平磁阻層的該第一側處與該水平磁阻層磁耦合。

2.如權利要求1所述的磁阻感測組件，其特征在于，該水平磁阻層與該磁場感應層包含異向性磁阻材料。

3.如權利要求1所述的磁阻感測組件，其特征在于，該水平磁阻層與該磁場感應層的電阻值會隨外在磁場變化而改變，其包含鐵磁材料、反鐵磁材料、非鐵磁性金屬材料、穿隧氧化物材料的其中任一或其組合。

4.如權利要求1所述的磁阻感測組件，其特征在于，該導電部包含多個長形導電條，該多個長形導電條的長度延伸方向皆與該水平磁阻層的長度延伸方向夾一相等的銳角。

5.如權利要求1所述的磁阻感測組件，其特征在于，該第一磁場感應層是自該水平磁阻層的該第一側向上或向下延伸。

6.如權利要求1所述的磁阻感測組件，其特征在于，該第一磁場感應層可為長條形或包含多個離散子部。

7.如權利要求1所述的磁阻感測組件，其特征在于，該導電部包含自該水平磁阻層的該第一側朝向該第二側延伸的多個第一側導電部以及自該水平磁阻層的該第二側朝向該第一側延伸的多個第二側導電部。

8.如權利要求1所述的磁阻感測組件，其特征在于，第二磁場感應層，自該水平磁阻層的該第二側向上或向下延伸，并與該水平磁阻層磁耦合。

9.如權利要求7所述的磁阻感測組件，其特征在于，還包含：該第一磁場感應層位于該水平磁阻層的該第一側，且包含多個離散子部，該多個離散子部的每一個皆由該水平磁阻層的該第一側向上或向下延伸；不平行于該基板表面的第二磁場感應層，位于該水平磁阻層的該第二側處與該水平磁阻層磁耦合，該第二磁場感應層且包含多個離散子部，該多個離散子部的每一個皆由該水平磁阻層的該第二側向上或向下延伸。

10.如權利要求9所述的磁阻感測組件，其特征在于，該第一磁場感應層的該多個離散子部與該第二磁場感應層的該多個離散子部是沿著該水平磁阻層的長度延伸方向以交錯方式配置。

11.如權利要求1所述的磁阻感測組件，其特征在于，第三磁場感應層，不平行于該基板表面，位于該水平磁阻層的上方與該水平磁阻層磁耦合。

12.如權利要求9所述的磁阻感測組件，其特征在于，該第一磁場感應層的該多個離散子部與對應的該多個第一側導電部在第一側上至少部分交迭，且該第二磁場感應層的該多個離散子部與對應的該多個第二側導電部在第二側上至少部分交迭。

13.如權利要求9所述的磁阻感測組件，其特征在于，該多個的第一側導電部與該多個的第二側導電部是沿著該水平磁阻層的長度延伸方向以交錯或對稱方式配置。

14.如權利要求1所述的磁阻感測組件，其特征在于，至少一第一磁通量集中結構。

15.如權利要求1所述的磁阻感測組件，其特征在于，還包含至少一第一磁通量集中結構且該第一磁場感應層還包含多個離散子部，該至少一第一磁通量集中結構，沿著該水平磁阻層的長度延伸方向與該第一磁場感應層的該至少一離散子部交替配置，且該至少一第一磁通量集中結構自該水平磁阻層的該第一側處向上延伸并與該水平磁阻層磁耦合。

16.如權利要求14所述的磁阻感測組件，其特征在于，該至少一第一磁通量集中結構可為溝槽側壁上的磁性層的形式或具有大塊磁性塊材的形式。

17.如權利要求7所述的磁阻感測組件，其特征在于，在該水平磁阻層中由該第一側導電部流向相鄰該第二側導電部的電流具有第一導通方向，且由該第二側導電部流向相鄰該第一側導電部的電流具有第二導通方向，該第一導通方向不平行于該第二導通方向。

18.如權利要求17所述的磁阻感測組件，其特征在于，該第一導通方向與該水平磁阻層的長度延伸方向之間的銳夾角等于該第二導通方向與該水平磁阻層的長度延伸方向之間的銳夾角。