[發明專利]藍寶石單晶爐雙向對稱式抽空系統有效
| 申請號： | 201210361805.X | 申請日： | 2012-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN102851746A | 公開（公告）日： | 2013-01-02 |
| 發明（設計）人： | 李榮林;李輝;閆杰;姜宏偉;張洪濤 | 申請（專利權）人： | 南京晶升能源設備有限公司 |
| 主分類號： | C30B35/00 | 分類號： | C30B35/00;C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 江蘇圣典律師事務所 32237 | 代理人： | 程化銘 |
| 地址： | 210000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 藍寶石 單晶爐 雙向 對稱 抽空 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于藍寶石單晶爐的雙向對稱式抽空系統，包括真空泵組和設置在單晶爐上的抽真空管道，其特征在于：所述的抽真空管道包括對稱的左抽空管道和右抽空管道，其具體結構為：?
a)?腔體設有兩個水平貫通對稱的抽空口，分別通過法蘭與左抽空管道、右抽空管道的一端密封連接，左、右抽空管道外壁分別焊有螺旋式纏繞水冷管，一個抽空管道上設有彈簧式安全泄壓裝置，另一個抽空管道上設有真空角閥；
b)?十字管道通過管道托架連接固定在腔體外壁上，左抽空管道和右抽空管道的另一端匯集于十字管道，通過法蘭與十字管密封連接；
c)?真空泵組通過法蘭與十字管道密封連接，十字管道上設有低真空計和高真空計。
2.根據權利要求1所述的藍寶石單晶爐用雙向對稱式抽空系統，其特征在于：左抽空管道和右抽空管道中均設有波紋管，波紋管兩端通過卡鉗與對應的管道密封連接；左抽空管道和右抽空管道分別通過左右法蘭與十字管道密封連接，十字管道通過下法蘭與真空泵組密封連接，低真空計和高真空計設在十字管道的上法蘭。
3.根據權利要求1所述的藍寶石單晶爐用雙向對稱式抽空系統，其特征在于：左抽空管道、右抽空管道、十字管道和波紋管的材料均為不銹鋼。
4.根據權利要求1~3之一所述的藍寶石單晶爐用雙向對稱式抽空系統，其特征在于：真空泵組包括機械泵和擴散泵。
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