[發明專利]一種金屬氧化物平面開關型液晶顯示面板及其制造方法

有效

• 申請號: 201210361088.0
• 申請日: 2012-09-26
• 公開（公告）號: CN102929062A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 焦峰;王海宏
• 申請（專利權）人: 南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1368
• 分類號: G02F1/1368;G02F1/1362;G02F1/1343;G02F1/1333;H01L21/77
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種金屬氧化物平面開關型液晶顯示面板，其特征在于，包括：

掃描線；

信號線，與掃描線縱橫交叉；

像素單元，由掃描線和信號線交叉限定，所述每個像素單元包括薄膜晶體管和像素電極，所述薄膜晶體管包括與掃描線電性連接的TFT柵極、與信號線連接線電性連接的TFT源極、以及與柵格狀像素電極電性連接的TFT漏極；

共通電極線，與掃描線平行設置；

柵格狀共通電極，與共通電極線電性連接；該柵格狀共通電極與柵格像素電極均交錯位于像素區域。

2.根據權利要求1所述的金屬氧化物平面開關型液晶顯示面板，其特征在于：所述信號線包括第一信號線、相鄰像素單元的第二信號線和位于第一信號線和第二信號線之間的信號線連接線。

3.根據權利要求2所述的金屬氧化物平面開關型液晶顯示面板，其特征在于：所述信號線連接線、TFT源極、TFT漏極以及柵格狀像素電極為金屬氧化物，其上通過離子注入方式成為具有導體特性的透明電極。

4.根據權利要求2所述的金屬氧化物平面開關型液晶顯示面板，其特征在于：所述信號線連接線、TFT源極、TFT漏極以及柵格狀像素電極位于頂層。

5.根據權利要求2所述的金屬氧化物平面開關型液晶顯示面板，其特征在于：所述信號線連接線、TFT源極、TFT漏極以及柵格狀像素電極位于底層。

6.根據權利要求1所述的金屬氧化物平面開關型液晶顯示面板，其特征在于：所述信號線、掃描線、共通電極線、以及柵格狀共通電極位于底層。

7.根據權利要求1所述的金屬氧化物平面開關型液晶顯示面板，其特征在于：所述信號線、掃描線、共通電極線、以及柵格狀共通電極位于頂層。

8.根據權利要求1所述的液晶顯示面板，其特征在于：所述TFT源極與TFT漏極之間設有保護層。

9.一種金屬氧化物平面開關型液晶顯示面板的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：

第一步：在基板上形成底層金屬氧化物層，具體形成：信號線連接線圖案、與信號線連接線連接的源漏極連接線圖案、以及與源漏極連接線連接的柵格狀像?素電極圖案；

第二步：在源漏極連接線的中間形成保護層圖案，然后利用離子注入方式讓保護層以外的金屬氧化物成為具有導體特性的透明電極；

第三步：在形成第二步圖案的基礎形成絕緣層圖案，并在信號線連接的兩端形成第一接觸孔和第二接觸孔；

第四步：在絕緣層圖案上以金屬形成信號線、掃描線、共通電極線、與共通電極線連接的柵格狀共通電極、以及與掃描線連接的TFT柵極的圖案，柵格狀共通電極與位于底層的柵格狀像素電極交錯設置；信號線的兩端通過相鄰像素單元的信號線連接的第一接觸孔和第二接觸孔連接。

10.一種金屬氧化物平面開關型液晶顯示面板的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：

第一步：在基板上以底層金屬形成信號線、掃描線、共通電極線、與共通電極線連接的柵格狀共通電極線、以及與掃描線連接的TFT柵極的圖案；

第二步：在底層金屬上形成絕緣層，并在信號線、掃描線、共通電極線相應位置上形成接觸孔圖形；

第三步：在第二步形成的絕緣層上以金屬氧化物形成信號線連接線、與信號線連接線連接的源漏極連接線、與源漏極連接線連接的柵格狀像素電極、與共通電極線連接的共通電極線端子連接線、以及與掃描線連接的掃描線端子連接線；

第四步：在源漏極連接線的中間形成保護層圖形，然后利用陽離子注入方式讓溝道保護層圖形以外的金屬氧化物成為具有導體特性的透明電極。?