[發(fā)明專利]傳感器元件及其制造方法、傳感器裝置以及電子設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210359359.9
• 申請日: 2012-09-24
• 公開（公告）號: CN103017747A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 市川史生
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56;G01C19/5607;G01C19/5628
• 代理公司: 北京金信立方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

1.一種傳感器元件，其特征在于，具備：

基部；

驅(qū)動用振動臂，其從所述基部延伸，并進(jìn)行驅(qū)動振動；

振動臂，其從所述基部延伸，并隨著所述驅(qū)動用振動臂的驅(qū)動振動而進(jìn)行振動；

檢測部，其包括檢測用電極，所述檢測用電極根據(jù)被施加于所述驅(qū)動用振動臂的物理量而輸出信號；

第一電極，其被設(shè)置于所述振動臂上，且與所述檢測用電極電連接，并隨著所述振動臂的振動而產(chǎn)生電荷；

第二電極，其被設(shè)置于所述振動臂上，且與所述檢測用電極電連接，并隨著所述振動臂的振動而產(chǎn)生與由所述第一電極產(chǎn)生的電荷極性相反的電荷。

2.如權(quán)利要求1所述的傳感器元件，其中，

將來自所述第一電極的電荷與來自所述第二電極的電荷相加而得到的電荷，與在所述驅(qū)動用振動臂上未施加有物理量時由所述檢測用電極產(chǎn)生的電荷為相反極性。

3.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件，其中，

所述振動臂具有第一面、該第一面的相反側(cè)的第二面、以及對所述第一面和所述第二面進(jìn)行連結(jié)的一對側(cè)面，

所述第一電極包括第一主面電極和第一側(cè)面電極，所述第一主面電極沿著所述振動臂的延伸方向而被設(shè)置在所述第一面以及所述第二面上，所述第一側(cè)面電極被設(shè)置于一個所述側(cè)面上，

所述第二電極包括第二主面電極和第二側(cè)面電極，所述第二主面電極沿著所述振動臂的延伸方向，而以與所述第一電極并排的方式被配置在所述第一面以及所述第二面上，所述第二側(cè)面電極被設(shè)置于另一個所述側(cè)面上。

4.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件，其中，

在所述振動臂的頂端部上設(shè)置有質(zhì)量調(diào)節(jié)部。

5.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件，其中，

所述第一電極以及所述第二電極中的至少一方具備：共用部，其沿著所述振動臂的延伸方向而設(shè)置；多個分支部，其從所述共用部分支。

6.如權(quán)利要求5所述的傳感器元件，其中，

多個所述分支部的電極寬度在頂端側(cè)比在所述共用部側(cè)大。

7.如權(quán)利要求5所述的傳感器元件，其中，

所述分支部相對于所述共用部的所述延伸方向而傾斜。

8.如權(quán)利要求5所述的傳感器元件，其中，

所述振動臂具有沿著所述延伸方向而設(shè)置的槽部，

所述分支部的至少一部分被設(shè)置于所述槽部的壁面上。

9.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件，其中，

具有檢測用振動臂，所述檢測用振動臂從所述基部延伸，并根據(jù)被施加于所述驅(qū)動用振動臂的物理量而進(jìn)行振動，

所述檢測用電極被設(shè)置于所述檢測用振動臂上。

10.一種傳感器元件的制造方法，其特征在于，

所述傳感器元件具備：

基部；

驅(qū)動用振動臂，其從所述基部延伸，并進(jìn)行驅(qū)動振動；

振動臂，其從所述基部延伸，并隨著所述驅(qū)動用振動臂的驅(qū)動振動而進(jìn)行振動；

檢測部，其包括檢測用電極，所述檢測用電極根據(jù)被施加于所述驅(qū)動用振動臂的物理量而輸出信號；

第一電極，其被設(shè)置于所述振動臂上，且與所述檢測用電極電連接，并隨著所述振動臂的振動而產(chǎn)生電荷；

第二電極，其被設(shè)置于所述振動臂上，且與所述檢測用電極電連接，并隨著所述振動臂的振動而產(chǎn)生與由所述第一電極產(chǎn)生的電荷極性相反的電荷，

所述傳感器元件的制造方法包括電荷調(diào)節(jié)工序，在所述電荷調(diào)節(jié)工序中，通過對所述第一電極或所述第二電極的一部分或全部進(jìn)行去除，從而對產(chǎn)生于所述第一電極或所述第二電極上的電荷量進(jìn)行調(diào)節(jié)。

11.如權(quán)利要求10所述的傳感器元件的制造方法，其中，

在所述電荷調(diào)節(jié)工序之前，包括：對在通過通電而使所述驅(qū)動用振動臂進(jìn)行振動的狀態(tài)下，產(chǎn)生于所述檢測用電極上的電荷進(jìn)行測量的工序；根據(jù)該測量結(jié)果而對所述振動臂的共振頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)的工序。

12.一種傳感器裝置，其特征在于，具有：

權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件；

使所述傳感器元件進(jìn)行驅(qū)動的電路；

對來自所述檢測部的輸出進(jìn)行檢測的電路。

13.一種電子設(shè)備，其特征在于，

具有權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件。