[發明專利]集成電路測試系統及集成電路測試系統的控制方法

無效

• 申請號: 201210354247.4
• 申請日: 2012-09-21
• 公開（公告）號: CN102854455A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 徐正元
• 申請（專利權）人: 成都市中州半導體科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G05B19/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種集成電路測試系統，包括一控制設備、一與所述控制設備相連的帶無線通訊模塊的測試儀、一與所述帶無線通訊模塊的測試儀相連的帶無線通訊模塊的負載板陣列、一與所述帶無線通訊模塊的負載板陣列相連的自動測試機陣列、一與所述自動測試機陣列相連的被測器件陣列，所述帶無線通訊模塊的負載板陣列包括N個帶無線通訊模塊的負載板，所述自動測試機陣列包括N個自動測試機，所述被測器件陣列包括N個被測器件，其中N≥1。

2.根據權利要求1所述的一種集成電路測試系統，其特征在于：所述帶無線通訊模塊的測試儀的測試儀主控芯片中安裝了一第一無線通訊模塊驅動程序，用來控制所述帶無線通訊模塊的測試儀的無線通訊模塊工作。

3.根據權利要求1所述的一種集成電路測試系統，其特征在于：所述帶無線通訊模塊的負載板內置負載板主控芯片，并在所述負載板主控芯片中安裝了一第二無線通訊模塊驅動程序，用來控制所述帶無線通訊模塊的負載板的無線通訊模塊工作。

4.根據權利要求1所述的一種集成電路測試系統，其特征在于：所述帶無線通訊模塊的負載板、所述自動測試機與所述被測器件一一對應進行串聯。

5.根據權利要求1所述的一種集成電路測試系統，其特征在于：所述自動測試機為探針臺。

6.根據權利要求1所述的一種集成電路測試系統，其特征在于：所述自動測試機為機械臂。

7.根據權利要求1所述的一種集成電路測試系統，其特征在于：所述被測器件為晶圓。

8.根據權利要求1所述的一種集成電路測試系統，其特征在于：所述被測器件為芯片。

9.一種集成電路測試系統的控制方法，包括以下步驟：

給一帶無線通訊模塊的測試儀、一帶無線通訊模塊的測試負載板陣列上電并初始化；

所述帶無線通訊模塊的測試儀查詢對應所述帶無線通訊模塊的測試負載板陣列是否可以進行數據傳輸，是則運行第四步，否則運行第三步；

所述帶無線通訊模塊的測試儀發出警報信號，等待所述帶無線通訊模塊的測試負載板陣列可通訊，并運行第二步；

通過一控制設備向所述帶無線通訊模塊的測試儀輸入指令及測試代碼；

所述帶無線通訊模塊的測試儀接收所述輸入指令及所述測試代碼并將其轉化為測試向量后通過無線通訊通信發送給所述帶無線通訊模塊的測試負載板陣列；

所述帶無線通訊模塊的測試負載板陣列接收到所述帶無線通訊模塊的測試儀傳來的信息，解析后控制所述自動測試機陣列進行工作，結果通過無線通訊通信反饋給所述帶無線通訊模塊的測試儀；

所述帶無線通訊模塊的測試儀接收到所述帶無線通訊模塊的測試負載板陣列反饋的信息，整理成測試結果等信息并保存，同時向所述控制設備發送測試完成信息。

10.根據權利要求9所述的一種集成電路測試系統的控制方法，其特征在于：所述帶無線通訊模塊的測試儀和所述帶無線通訊模塊的負載板陣列通過無線通訊模塊進行數據傳輸，所述帶無線通訊模塊的測試儀運用內置的無線通訊模塊發送指令控制所述帶無線通訊模塊的測試負載板陣列，所述帶無線通訊模塊的測試負載板根據命令控制所述自動測試機陣列測試所述被測器件陣列，并將檢測信息通過自帶的無線通訊模塊反饋給所述帶無線通訊模塊的測試儀，所述帶無線通訊模塊的測試儀將檢測信息進行分析后存儲。