[發明專利]一種光纖琺珀傳感器及其制作方法有效
| 申請號： | 201210352352.4 | 申請日： | 2012-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN102889901A | 公開（公告）日： | 2013-01-23 |
| 發明（設計）人： | 冉曾令;陳怡;李成;左紅梅;王彥君;柳珊 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | G01D5/26 | 分類號： | G01D5/26;G01K11/32;G01L1/24;G01L11/02;G01P15/03 |
| 代理公司： | 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 溫利平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光纖 傳感器 及其 制作方法 | ||
1.一種光纖琺珀傳感器，包括：光纖和被接光纖，在所述光纖或/和被接光纖的端面設有微槽，所述光纖和被接光纖對接連接在一起，所述微槽形成FP腔，所述FP腔的光學發射面為平面，所述光纖琺珀傳感器的外端面加工成薄片，在所述薄片中間位置刻蝕出一個凸起的圓柱體。
2.根據權利要求1所述的光纖琺珀傳感器，其特征在于，所述薄片的厚度小于60微米。
3.根據權利要求1所述的光纖琺珀傳感器，其特征在于，所述圓柱體的厚度為10到30微米，直徑10到60微米。
4.根據權利要求1所述的光纖琺珀傳感器，所述光纖和被接光纖是采用石英、聚合物、寶石或光子晶體材料制成的單模或多模光纖。
5.一種光纖琺珀傳感器的制作方法，具體包括如下步驟：
A.在光纖或/和被接光纖的端面加工微槽；
B.將光纖和被接光纖的端面對接在一起，所述微槽形成空氣FP腔，所述FP腔的光學反射面是端面，該端面為第一個光學反射平面；
C.將光纖或被接光纖切割一部分，使被切面形成光纖琺珀傳感器的外端面；
D.在C步驟形成的端面加工一個圓柱體，該圓柱體即為實心琺珀腔，圓柱體外端面形成第二個光學反射面。
6.根據權利要求5所述的光纖琺珀傳感器的制作方法，其特征在于，步驟A所述的加工是采用激光加工、飛秒激光加工、粒子束刻或電子束刻蝕。
7.根據權利要求5所述的光纖琺珀傳感器的制作方法，其特征在于，步驟B所述的對接采用激光熔接、電弧熔接、鍍膜對接或粘接。
8.根據權利要求5所述的光纖琺珀傳感器的制作方法，其特征在于，步驟C所述的加工是采用光加工、飛秒激光加工、粒子束刻蝕或電子束刻蝕。
9.根據權利要求5所述的光纖琺珀傳感器的制作方法，其特征在于，步驟D所述的加工是采用光加工、飛秒激光加工、粒子束刻蝕或電子束刻蝕。
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