[發(fā)明專利]用于應(yīng)用芯片模塊的方法和裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210351055.8 | 申請日: | 2009-03-20 |
| 公開(公告)號: | CN102945815A | 公開(公告)日: | 2013-02-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 曼弗雷德·里茨勒爾;雷蒙德·弗里曼 | 申請(專利權(quán))人: | 斯邁達IP有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/60 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人: | 王萍;陳煒 |
| 地址: | 荷蘭阿*** | 國省代碼: | 荷蘭;NL |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 用于 應(yīng)用 芯片 模塊 方法 裝置 | ||
1.一種用于將芯片模塊(27)應(yīng)用于天線模塊(37)的裝置,該裝置具有用于將多個芯片模塊以行布置(21至26)在膜支承體(20)上輸送的輸送裝置(59)、用于從行布置分割芯片模塊并將分割的芯片模塊遞送給應(yīng)用裝置(61)的分割裝置(60),其中應(yīng)用裝置用于將芯片模塊放置在天線模塊(37)的天線襯底(49)上并且將芯片模塊的天線接觸面(34,35)與天線(39)的接觸面(40,41)接觸,所述裝置的特征在于,分割裝置(60)具有輸送通道(62),該輸送通道帶有在輸送方向上在前端部上構(gòu)建的切割邊(65)和能夠相對于輸送通道樞轉(zhuǎn)的切割臂(66),切割臂具有第二切割邊(67),第二切割邊能夠運動經(jīng)過第一切割邊旁。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,切割臂(66)設(shè)置有用于容納芯片模塊(27)的靠置面(74),該靠置面設(shè)置有用于將芯片模塊固定在靠置面上的保持裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置,其特征在于,保持裝置構(gòu)建為設(shè)置在靠置面中的負壓裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的裝置,其特征在于,切割臂(66)能夠用其靠置面(74)朝著應(yīng)用裝置(61)的靠置面(75)樞轉(zhuǎn),并且應(yīng)用裝置的靠置面設(shè)置有負壓裝置(76),用于由切割臂的靠置面接管芯片模塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置,其特征在于,應(yīng)用裝置(61)具有:進給裝置,用于使設(shè)置在靠置面(75)上的芯片模塊(27)朝著天線襯底(49)運動;以及超聲裝置,用于對設(shè)置在靠置面上的芯片模塊施加以超聲振動。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的裝置,其特征在于,輸送裝置(59)、分割裝置(60)和應(yīng)用裝置(61)形成設(shè)置在共同的支承框架上的應(yīng)用模塊(52至57)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置,其特征在于,應(yīng)用模塊(52至57)設(shè)置有儲備裝置(58),用于將無窮的膜支承體(20)以卷形式設(shè)置。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置,其特征在于,應(yīng)用模塊(52至57)能夠以任意數(shù)目彼此組合用于形成應(yīng)用單元。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置,其特征在于,應(yīng)用模塊(52至57)能夠以任意數(shù)目彼此組合用于形成應(yīng)用單元。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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