[發明專利]區熔單晶爐下軸運動機構

有效

• 申請號: 201210349359.0
• 申請日: 2012-09-19
• 公開（公告）號: CN102877118A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 歐陽鵬根;石剛;傅林堅;曹建偉;陳明杰;王丹濤;邱敏秀
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: C30B13/20
• 分類號: C30B13/20;C30B13/32
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

1.一種區熔單晶爐下軸運動機構，包括外軸，其特征在于，所述下軸運動機構還包括支撐框、驅動絲桿、絲桿驅動電機、驅動托盤、花鍵軸、花鍵軸驅動電機、外軸旋轉皮帶輪組、外軸軸承、軸承倉組件和軸承倉旋轉皮帶輪組；

所述支撐框上端和下端分別設有支撐頂板和支撐底板，支撐框頂板和支撐底板之間設有驅動絲桿、花鍵軸和導向光軸，支撐頂板上設有絲桿定位套，所述驅動絲桿與支撐底板下端固定的絲桿驅動電機連接，所述花鍵軸與固定在支撐框上端側面的花鍵軸驅動電機連接；在支撐框內部設有驅動托盤，驅動絲桿、花鍵軸和導向光軸分別貫穿驅動托盤，外軸下端連接驅動托盤；所述花鍵軸分為外軸旋轉花鍵軸和內軸升降花鍵軸，外軸旋轉花鍵軸通過外軸旋轉皮帶輪組帶動外軸旋轉；

所述外軸旋轉皮帶輪組和外軸軸承之間設有外軸軸承定位套，在外軸軸承下端設有軸承壓板，軸承壓板固定在驅動托盤上；支撐頂板與下爐室連接處設有軸承倉組件，所述軸承倉組件與外軸旋轉花鍵軸之間通過軸承倉旋轉皮帶輪組實現連接。

2.根據權利要求1所述的區熔單晶爐下軸運動機構，其特征在于，所述外軸是空心圓軸，外軸下端內置內軸傳動組件，包括內軸升降皮帶輪組、內軸絲桿、內軸軸承、內軸支撐套、外軸旋轉套、內軸支撐套固定板和內軸傳動軸；所述外軸旋轉套與外軸下端內側固定，在外軸旋轉套內設有內軸支撐套，內軸支撐套通過內軸支撐套固定板與驅動托盤實現固定，內軸絲桿內置在內軸支撐套內，內軸絲桿與內軸軸承連接，所述內軸升降花鍵軸與內軸絲桿之間通過內軸升降皮帶輪組實現連接，內軸傳動軸貫穿于內軸支撐套，且下端與內軸絲桿固定，內軸傳動軸上端與內軸下端連接。

3.根據權利要求1所述的區熔單晶爐下軸運動機構，其特征在于，所述外軸旋轉套與外軸之間設有密封件，外軸旋轉套與內軸支撐套之間設有密封件與耐磨件，在內軸傳動軸與內軸支撐套之間還設有密封件和耐磨件。

4.根據權利要求1所述的區熔單晶爐下軸運動機構，其特征在于，所述內軸軸承之間設有內軸軸承軸套，內軸升降皮帶輪組下端設有皮帶輪端蓋板，在外軸上端內與內軸之間還設有內軸定位套。

5.根據權利要求1所述的區熔單晶爐下軸運動機構，其特征在于，所述內軸傳動軸上端通過萬向軸承連接軸、萬向軸承與內軸下端實現連接。

6.根據權利要求1所述的區熔單晶爐下軸運動機構，其特征在于，所述驅動絲桿和花鍵軸各有兩根，導向光軸有四根，且相互之間平行安裝。

7.根據權利要求1至6任意一項所述的區熔單晶爐下軸運動機構，其特征在于，所述支撐框為多層連接，在支撐頂板和上爐室、支撐頂板和支撐框、支撐框各層、支撐框與支撐底板之間均采用質口或者銷釘定位，并采用螺釘實現連接。

8.根據權利要求1至6任意一項所述的區熔單晶爐下軸運動機構，其特征在于，所述外軸旋轉皮帶輪組包括外軸旋轉主動輪、同步帶、外軸旋轉從動輪，外軸旋轉主動輪與外軸旋轉花鍵軸之間采用銷釘連接，外軸旋轉從動輪與外軸采用鍵槽或定位銷連接。

9.根據權利要求1至6任意一項所述的區熔單晶爐下軸運動機構，其特征在于，所述軸承倉旋轉皮帶輪組包括軸承倉旋轉主動輪、同步帶、軸承倉旋轉從動輪，軸承倉旋轉主動輪與外軸旋轉花鍵軸之間采用定位銷連接，軸承倉旋轉從動輪與軸承倉之間采用螺釘連接。

10.根據權利要求1至6任意一項所述的區熔單晶爐下軸運動機構，其特征在于，所述內軸升降皮帶輪組包括內軸升降主動輪、同步帶、內軸升降從動輪，內軸升降主動輪與內軸升降花鍵軸之間采用銷釘連接，內軸升降從動輪與內軸絲桿采用鍵槽或定位銷連接。