[發明專利]一種石英管、石英棒連熔爐有效
| 申請號: | 201210348651.0 | 申請日: | 2012-09-19 |
| 公開(公告)號: | CN102897995A | 公開(公告)日: | 2013-01-30 |
| 發明(設計)人: | 陳士斌;周明強;徐同根;劉明偉;許志仁;馬傳和 | 申請(專利權)人: | 江蘇太平洋石英股份有限公司 |
| 主分類號: | C03B5/00 | 分類號: | C03B5/00;C03B20/00 |
| 代理公司: | 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228 | 代理人: | 張秋越 |
| 地址: | 222342 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石英管 石英 熔爐 | ||
技術領域
本發明涉及一種石英管、石英棒連熔爐。
背景技術
決定石英管、石英棒質量的因素主要有:表面氣線、氣泡質量,及石英管、石英棒的均勻性。
現有的石英管、石英棒連熔爐內的鎢坩堝(加熱區)是由一組加熱器加熱的。實際連續生產石英管、石英棒過程中會產生以下問題:石英砂加入坩堝中通過加熱熔化,而由于加熱功率的限制,加熱器無法覆蓋整個坩堝加熱,而僅包覆坩堝上部加熱,導致坩鍋內上部靠近加熱器的溫度很高,但坩鍋下部卻較低,使坩堝下部石英砂加熱不充分,熔化就不好,從而導致石英管棒表面氣泡氣線,質量不穩定;為了使坩堝中石英砂的充分均勻熔化,可提高加熱器的設定溫度(通過控制功率),但是溫度提高會使坩堝中熔融石英砂粘度減小,從而坩堝底部出料過快,導致爐口拉出的石英管、棒的徑和壁厚的可控性降低,均勻性差。
發明內容
為了解決上述技術問題,本發明公開一種石英管、石英棒連熔爐,包括爐體和設于爐體內的坩堝,坩堝與爐體之間設有保溫層,坩堝與保溫層之間設有加熱裝置,所述加熱裝置下方、圍繞坩堝設有至少一輔助加熱裝置。
作為優選技術方案,上述的石英管、石英棒連熔爐,包括爐體和覆蓋在爐體上方的爐蓋,爐體內設有坩堝,坩堝與爐體之間設有保溫層,坩堝底部設有出料口;
芯桿,為中空管狀,設于坩堝中,上端穿出爐蓋,下端連接有成型裝置;成型裝置與出料口呈環形間隙配合;芯桿的中空孔與控氣裝置連接;加料裝置與坩堝連通;
坩堝與保溫層之間設有加熱裝置,所述加熱裝置下方、圍繞坩堝設有至少一輔助加熱裝置。
作為優選技術方案,所述加熱裝置為與主電極電性連接的加熱網,其設于坩堝與保溫層之間。
作為優選技術方案,所述輔助加熱裝置為與輔助電極電性連接的輔助加熱圈,其于所述加熱裝置下方、圍繞坩堝設置。
作為優選技術方案,爐體底部的設有拉出石英管或石英棒的爐口,爐體內,圍繞爐口設有高溫磚。
作為優選技術方案,爐體外,圍繞爐口設有冷卻石英管或石英棒的冷卻水裝置。
作為優選技術方案,所述冷卻水裝置下方設有排塵裝置。
作為優選技術方案,所述排塵裝置為高溫引風機。
作為優選技術方案,所述爐蓋上設有用于調整芯桿位置的調偏裝置,調偏裝置夾持芯桿。
作為優選技術方案,所述成型裝置為圓臺筒狀,其細口端與所述芯桿連接,粗口端伸出出料口。
本發明的石英管、石英棒連熔爐具有以下效果。
1、坩堝外設一加熱裝置,加熱裝置下方增加至少一輔助加熱裝置,使坩堝內(加熱區)的溫度均勻,石英砂熔化充分,這樣就會使表面的氣線、氣泡減少,提高表面質量。而且,可控制加熱裝置和輔助加熱裝置不同的功率,以調整坩堝底部石英砂的粘度,從而保證石英管的均勻性、質量和表面效果。
2、成型裝置與出料口呈環形間隙配合,成型裝置為圓筒臺,調整其上下位置使環形間隙大小變化從而控制連熔爐出口的石英管、石英棒的徑和壁厚,使均勻性良好。
3、調偏裝置能在X、Y方向任意移動,可調節石英管的偏壁。
4、排塵裝置(高溫引風機)將石英管、石英棒制備過程中的雜質(主要是氧化物蒸汽、顆粒等)排出。
附圖說明
圖1是本發明的石英管、石英棒連熔爐的較佳實施例的結構示意圖。
1、爐體;2、爐蓋;3、坩堝;31、出料口;4、保溫層;5、芯桿;6、成型裝置;7、控氣裝置;8、加料裝置;9、加熱裝置;91、主電極;92、加熱網;10、輔助加熱裝置;101、輔助電極電性;102、輔助加熱圈;111、爐口;11、高溫轉;12、冷卻水裝置;13、排塵裝置;14、調偏裝置;112、爐體支架。
具體實施方式
下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步說明,以使本領域的技術人員可以更好的理解本發明并能予以實施,但所舉實施例不作為對本發明的限定。
結合圖1,為本發明的石英管、石英棒連熔爐較佳實施例的結構示意圖,?
本發明的石英管、石英棒連熔爐,包括爐體1和覆蓋在爐體1上方的爐蓋2,爐體1內設有坩堝3,坩堝3與爐體1之間設有保溫層4,坩堝3底部設有出料口31;
芯桿5,為中空管狀,設于坩堝3中,上端穿出爐蓋2,下端連接有成型裝置6;成型裝置6位于坩堝3底部的出料口31中央,與出料口31呈環形間隙配合;芯桿5的中空孔與控氣裝置7連接;加料裝置8與坩堝3連通;
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