[發明專利]一種多晶硅還原生產工藝及裝置

有效

• 申請號: 201210348552.2
• 申請日: 2012-09-19
• 公開（公告）號: CN102874814A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 陳喜清;銀波;潘小龍;陳朝霞;張偉;劉桂林
• 申請（專利權）人: 特變電工新疆硅業有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03
• 代理公司: 北京中恒高博知識產權代理有限公司 11249
• 代理人: 夏晏平

1.一種多晶硅還原生產工藝，包括步驟：

a1、將液態三氯氫硅通過三氯氫硅汽化器汽化得到氣態三氯氫硅；

a2、與步驟a1同時，將氫氣預熱得到熱氫氣；

a3、將氣態三氯氫硅和熱氫氣按照氫過量的配比通過靜態混合器混合均勻，形成原料混合氣；

a4、將原料混合氣體通過恒溫換熱器升溫并達到恒溫狀態；

a5、將恒溫后的混合氣送入還原爐。

2.如權利要求1所述的多晶硅還原生產工藝，其特征在于，還包括步驟：

a6、還原爐反應后的還原尾氣對步驟a1中三氯氫硅汽化器中的液態三氯氫硅加熱；

a7、從三氯氫硅汽化器排出的還原尾氣對步驟a2中氫氣預熱器中的氫氣預熱。

3.如權利要求2所述的多晶硅還原生產工藝，其特征在于，步驟a1中，對三氯氫硅汽化器加熱的蒸汽和還原尾氣，各自獨立為三氯氫硅汽化器提供熱量，夾套中通蒸汽，管程走還原爐尾氣。

4.如權利要求3所述的多晶硅還原生產工藝，其特征在于，氣態三氯氫硅壓力為0.7-0.8MPa。

5.如權利要求3所述的多晶硅還原生產工藝，其特征在于，步驟a2中，三氯氫硅汽化器夾套所用蒸汽為0.5-0.8MPa飽和蒸汽。

6.如權利要求2所述的多晶硅還原生產工藝，其特征在于，步驟a3中，熱氫氣和氣態三氯氫硅的配比（摩爾比）為2:1-6:1。

7.如權利要求2所述的多晶硅還原生產工藝，其特征在于，步驟a4中，恒溫換熱器所用熱源為155℃還原爐筒冷卻水回水或155℃、0.5MPa蒸汽中的任一種，控制原料混合氣加熱到溫度150℃左右。

8.一種多晶硅還原生產裝置，其特征在于，包括三氯氫硅汽化器、氫氣預熱器、靜態混合器、恒溫換熱器和還原爐，所述三氯氫硅汽化器的氣態三氯氫硅出口與所述氫氣預熱器的熱氫氣出口分別連接到靜態混合器，靜態混合器的混合氣體出口與還原爐之間的管路上設有所述恒溫換熱器。

9.如權利要求8所述的多晶硅還原生產裝置，其特征在于，所述還原爐的尾氣出口與所述三氯氫硅汽化器的管程入口連通，還原尾氣作為三氯氫硅汽化器的熱源。

10.如權利要求9所述的多晶硅還原生產裝置，其特征在于，所述三氯氫硅汽化器的管程出口連接到所述氫氣預熱器，還原尾氣作為氫氣預熱器的熱源。