[發明專利]基板處理系統

有效

• 申請號: 201210347581.7
• 申請日: 2012-09-18
• 公開（公告）號: CN103010705A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 柴田英樹
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: B65G43/08
• 分類號: B65G43/08
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 宋曉寶;郭曉東

技術領域

本發明涉及與基板處理裝置之間搬運容納半導體晶片、液晶顯示器用基板、等離子顯示器用基板、有機EL用基板、FED（Field?Emission?Display：場發射顯示器）用基板、光學顯示器用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板、光掩模用基板、太陽能電池用基板（下面，簡稱為基板）的容納器的基板處理系統。

背景技術

以往，作為這種基板處理系統可列舉具有基板處理裝置、自動物料搬運系統和對整體進行控制的主計算機的系統，其中，所述基板處理裝置具有基板處理單元、容納器容置/搬運單元、裝載臺（load?port），所述自動物料搬運系統根據主計算機的指示搬運容納器。

基板處理單元對基板進行各種處理。容納器容置/搬運單元與基板處理單元并排設置，容置或者搬運用于容置基板的FOUP（Front?Opening?Unified?Pod：前開式統一標準箱）。裝載臺與容納器容置/搬運單元并排設置，用于載置FOUP。自動物料搬運系統（AMHS：Automated?Material?Handling?System）具有無人搬運車（AGV：Automatic?Guided?Vehicles）或者為空中行走式無人搬運車（OHT：Overhead?Hoist?Transfer）等移動裝置，用于進行與裝載臺之間的FOUP的交接。主計算機與控制裝置之間和與自動物料搬運系統之間進行通信，進行與搬運FOUP相關的控制。

自動物料搬運系統向基板處理裝置搬運FOUP需要時間。因此，在基板處理裝置具有容納器容置/搬運單元的情況下，希望在向裝載臺搬入FOUP之后，盡可能快地從裝載臺取出FOUP并搬入容納器容置/搬運單元，并且為了下一次的搬運而空出裝載臺。為了滿足這樣的要求，提出了一種裝置，其在裝載臺附近設置有作為容納器暫時避讓的場所的可移動緩沖部。例如，參照日本特表2008-508731號公報。

在該裝置中，在FOUP載置于裝載臺時，通過可移動緩沖部使FOUP從裝載臺暫時沿著橫向滑動移動并避讓，以能夠使裝載臺用于下一次搬運。

然而，在具有上述結構的現有例子的情況下，存在著下面的問題。

即，現有的裝置具有使FOUP從裝載臺暫時避讓的結構，但是，例如，在自動物料搬運系統的兩個OHT連續向同一個裝載臺搬入FOUP的情況下，由于搬入間隔很短，所以在相對于一個OHT搬入的FOUP從裝載臺避讓的動作，另一個OHT搬入FOUP的動作更快的情況下，存在不能向裝載臺搬入FOUP，導致通過OHT搬入FOUP的動作失敗的問題。若發生這樣的搬入失敗，則裝載臺會立即向自動物料搬運系統發出上述另一個OHT處于“不能搬入”的狀態的通知。于是，OHT通過該裝載臺并沿著自動物料搬運系統的循環軌道環繞，此后再次嘗試搬入動作。另外，針對搬出動作也會產生同樣的問題。因此，由于OHT再次環繞循環軌道需要時間，所以存在不能有效地利用自動物料搬運系統的資源的問題。

發明內容

本發明是鑒于上述問題而提出的，本發明的目的在于提供一種能夠有效地利用自動物料搬運系統的基板處理系統。

本發明，為了達到上述的目的，具有如下的結構。

本發明提供一種基板處理系統，用于處理基板，具有基板處理裝置、自動物料搬運系統、主計算機；所述基板處理裝置具有：基板處理單元，其對基板進行規定的處理，裝載臺，其具有用以載置用于容納基板的容納器的物理裝載臺，并且在所述裝載臺與所述基板處理單元之間交接容納器，內部緩沖部，其位于所述基板處理單元與所述裝載臺之間，并且在該內部緩沖部與所述基板處理單元之間交接基板，在該內部緩沖部與所述裝載臺之間交接容納器，且在交接時暫時容置容納器；所述自動物料搬運系統與所述裝載臺之間交接容納器；所述主計算機與所述基板處理裝置及所述自動物料搬運系統進行通信，根據所述基板處理裝置的狀況來指示所述自動物料搬運系統搬運容納器；所述基板處理裝置具有自動物料搬運系統對應控制部，在所述裝載臺因一個容納器而處于被使用中的情況下，當應該與該裝載臺之間交接其它的容納器的自動物料搬運系統的移動裝置到來時，所述自動物料搬運系統對應控制部不通知不能夠接受容納器，直到所述一個容納器的使用結束。