[發明專利]聚合物材料及其應用無效
| 申請號： | 201210346914.4 | 申請日： | 2012-09-18 |
| 公開（公告）號： | CN103676481A | 公開（公告）日： | 2014-03-26 |
| 發明（設計）人： | 蘇佳樂 | 申請（專利權）人： | 無錫華潤上華半導體有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/038 | 分類號： | G03F7/038;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 214028 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聚合物 材料 及其 應用 | ||
【權利要求書】：
1.一種聚合物材料，其特征在于：所述聚合物材料包含有SU8和表面活性劑。
2.根據權利要求1所述的聚合物材料，其特征在于：所述表面活性劑在所述聚合物材料中的質量比為9%~11%。
3.根據權利要求2所述的聚合物材料，其特征在于：所述表面活性劑在所述聚合物材料中的質量比為10%。
4.權利要求1至3任一所述的聚合物材料在鍵合中的應用。
5.根據權利要求4所述的聚合物材料，其特征在于：所述鍵合的溫度為170~200度。
6.根據權利要求4所述的聚合物材料，其特征在于：所述鍵合的壓強為0.5~1bar。
7.根據權利要求4所述的聚合物材料，其特征在于：所述鍵合包括玻璃/玻璃鍵合、硅/玻璃鍵合、硅/硅鍵合或晶片/硅鍵合。
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