[發明專利]一種綠激光劃片藍寶石的工藝方法有效
| 申請號： | 201210346105.3 | 申請日： | 2012-09-18 |
| 公開（公告）號： | CN102837369A | 公開（公告）日： | 2012-12-26 |
| 發明（設計）人： | 謝小柱;魏昕;胡偉;黃福民 | 申請（專利權）人： | 廣東工業大學 |
| 主分類號： | B28D5/00 | 分類號： | B28D5/00;B23K26/36;B23K26/14;B23K26/42 |
| 代理公司： | 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102 | 代理人： | 林麗明 |
| 地址： | 510006 廣東省廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 激光 劃片 藍寶石 工藝 方法 | ||
1.一種綠激光劃片藍寶石的工藝方法，其特征在于步驟如下：
1）在藍寶石基片預先涂覆一層的水溶性覆層；
2）在開始用綠激光切割前設定綠激光光束入射角度、焦點位置，設定同軸和側向施加輔助氣體噴嘴位置及施加輔助氣體的壓力；
3）采用綠激光按一預定掃描速度和掃描次數掃描藍寶石基片的表面形成切槽，在上述過程中同軸和側向噴嘴同時施加輔助氣體；
4）再用裂片的方法將藍寶石分割成小片。
2.如權利要求1所述的綠激光劃片藍寶石的工藝方法，其特征在于：上述步驟1）中水溶性覆層的厚度為50～500μm。
3.如權利要求1所述的綠激光劃片藍寶石的工藝方法，其特征在于：上述步驟2）中綠激光為脈沖式綠激光，綠激光光束入射角為0～900，綠激光波長λ為510～540nm，綠激光波脈寬大于等于20ns，綠激光頻率為0.1～100?kHz，綠激光能量密度為1～200?J/cm2。
4.如權利要求3所述的綠激光劃片藍寶石的工藝方法，其特征在于：所述綠激光光束入射角是激光光束與藍寶石基片表面法線方向的夾角。
5.如權利要求1所述的綠激光劃片藍寶石的工藝方法，其特征在于：上述步驟2）中綠激光的焦點位置在藍寶石上表面以下0～200μm。
6.如權利要求1所述的綠激光劃片藍寶石的工藝方法，其特征在于：所述上述步驟2）中噴嘴施加輔助氣體的壓力為0.1～0.4?MPa。
7.如權利要求1所述的綠激光劃片藍寶石的工藝方法，其特征在于：上述步驟3）中綠激光掃描速度為0.1～50?mm/s，綠激光掃描次數為1～10次。
8.如權利要求1所述的綠激光劃片藍寶石的工藝方法，其特征在于：上述步驟3）中綠激光劃片過程中施加輔助氣體為空氣、氮氣、氬氣或氦氣中的一種。
9.如權利要求1所述的綠激光劃片藍寶石的工藝方法，其特征在于：上述步驟3）中所述綠激光劃片過程中同軸噴嘴中心線和側向噴嘴中心線的夾角為0～900。
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