[發明專利]用于準直器制造檢驗的方法和設備

無效

• 申請號: 201210344553.X
• 申請日: 2012-09-17
• 公開（公告）號: CN103033135A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: M.米斯;S.沃思;J.雷格
• 申請（專利權）人: 西門子公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01B11/14;G01B11/24
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 謝強

1.一種用于帶有多個帶有邊緣的片的準直器（K）的制造檢驗的方法，所述方法具有如下方法步驟：

1.1借助于光學測量方法產生（S1）準直器（K）的至少一個三維測量數據組（2），

1.2在該至少一個測量數據組（2）上確定（S2）準直器（K）的片的多個橫向輪廓數據（3），

1.3評估（S3）所述橫向輪廓數據（3）的橫向輪廓特性（4a、4b），

1.4通過所述橫向輪廓特性（4a、4b）的投影產生（S4）至少一個二維投影數據組（5），和

1.5評估（S5）該至少一個二維投影數據組（5）。

2.根據前述權利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一個測量數據組（2）通過白光干涉測量法產生。

3.根據前述權利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一個測量數據組（2）通過激光掃描方法產生。

4.根據前述權利要求1至3中一項所述的方法，其特征在于，所述橫向輪廓數據（3）垂直于準直器（K）的各被關注的片走向。

5.根據前述權利要求1至4中一項所述的方法，其特征在于，作為橫向輪廓特性（4a、4b）評估如下列表的至少一個特性并且確定其位置：最小值、最大值、與預先給定的高度的交點、輪廓的重心、預先給定的斜率、前述特性的兩個位置之間的間距。

6.根據前述權利要求1至5中一項所述的方法，其特征在于，所述投影數據組（5）由多個部分投影數據組組合而成。

7.根據前述權利要求6所述的方法，其特征在于，所述部分投影數據組通過縫合算法組合。

8.根據前述權利要求1至7中一項所述的方法，其特征在于，至少一個投影數據組（5）通過與預先給定的參考值的對比被評估。

9.根據前述權利要求1至8中一項所述的方法，其特征在于，檢驗至少一個投影數據組（5）的投影的至少一個輪廓特性的走向的線性度。

10.根據前述權利要求1至9中一項所述的方法，其特征在于，為評估所述投影數據組（5）使用物體識別算法。

11.一種用于執行用于準直器（K）的制造檢驗的方法的設備，所述設備具有用于光學測量的系統，所述系統包括用于控制系統并且評估測量數據的程序控制的處理器，其特征在于，存在帶有計算機程序的程序存儲器，在所述程序存儲器中存儲了計算機程序（Prg₁至Prg_n），所述計算機程序在運行中執行任一前述方法權利要求的方法特征。