[發明專利]太陽能電池制絨表面的拋光方法及拋光裝置

有效

• 申請號: 201210344047.0
• 申請日: 2012-09-17
• 公開（公告）號: CN102842498A
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發明（設計）人: 辛煜;唐中華;鄒帥
• 申請（專利權）人: 蘇州大學
• 主分類號: H01L21/3065
• 分類號: H01L21/3065;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 常亮

1.一種太陽能電池制絨表面的拋光方法，其特征在于：采用射頻激發的行波耦合等離子體對制絨表面進行拋光。

2.根據權利要求1所述的制絨表面的拋光方法，其特征在于：所述射頻激發的行波耦合等離子體在反應氣體下對制絨表面進行拋光，所述反應氣體選自六氟化硫和氧氣、四氟化碳和氧氣、六氟化硫、三氟化氮、三氟化氮和氧氣、或六氟化硫和氯氣。

3.一種權利要求1所述太陽能電池制絨表面的拋光裝置，用以對制絨表面進行單面拋光，其特征在于：所述拋光裝置包括真空腔體及至少部分穿射于所述真空腔體上的至少一個玻璃管，所述玻璃管呈單排陣列設置，每個玻璃管中插入一根通入冷卻水的金屬管，金屬管之間串聯連接，玻璃管與真空腔體之間密封連接。

4.根據權利要求3所述的太陽能電池制絨表面的拋光裝置，其特征在于：所述串聯后金屬管的一端接射頻輸入信號，另一端接地。

5.根據權利要求3所述的太陽能電池制絨表面的拋光裝置，其特征在于：所述金屬管為鍍銀銅管。

6.一種權利要求1所述太陽能電池制絨表面的拋光裝置，用以對制絨表面進行雙面拋光，其特征在于：所述拋光裝置包括真空腔體及至少部分穿射于所述真空腔體上的至少一個玻璃管，所述玻璃管呈雙排陣列設置，每個玻璃管中插入一根通入冷卻水的金屬管，金屬管之間串聯連接，玻璃管與真空腔體之間密封連接。

7.根據權利要求6所述的太陽能電池制絨表面的拋光裝置，其特征在于：所述串聯后金屬管的一端接射頻輸入信號，另一端接地。

8.一種權利要求1所述太陽能電池制絨表面的拋光裝置，其特征在于：所述拋光裝置包括真空腔體及至少部分穿射于所述真空腔體上的至少一個玻璃管，所述玻璃管呈雙排陣列設置，每個玻璃管中插入一根通入冷卻水的金屬管，金屬管之間串聯連接，玻璃管與真空腔體之間密封連接。

9.根據權利要求8所述的太陽能電池制絨表面的拋光裝置，其特征在于：所述串聯后金屬管的一端接射頻輸入信號，另一端接地。

10.根據權利要求8所述的太陽能電池制絨表面的拋光裝置，其特征在于：所述金屬管為鍍銀銅管。