[發(fā)明專利]陣列基板及其制造方法、液晶顯示面板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210342996.5
• 申請(qǐng)日: 2012-09-14
• 公開（公告）號(hào): CN103295959A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹兆鏗;徐之際;王征
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海中航光電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/77
• 分類號(hào): H01L21/77;H01L27/02;G02F1/1362;G02F1/1368
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液晶顯示器領(lǐng)域，尤其涉及一種陣列基板及其制造方法、液晶顯示面板。

背景技術(shù)

液晶顯示器是一種采用液晶材料的顯示器。液晶是介于固態(tài)和液態(tài)間的有機(jī)化合物。將其加熱會(huì)變成透明液態(tài)，冷卻后會(huì)變成結(jié)晶的混濁固態(tài)。在電場(chǎng)作用下，液晶分子會(huì)發(fā)生排列上的變化，從而影響通過其的光線變化，這種光線的變化通過偏振片的作用可以表現(xiàn)為明暗的變化。通過對(duì)電場(chǎng)的控制控制光線的明暗變化，從而達(dá)到顯示圖像的目的。

為了增大液晶顯示器視角，現(xiàn)有技術(shù)發(fā)展了面內(nèi)旋轉(zhuǎn)顯示技術(shù)(In?Plane?Switching，IPS)、邊緣場(chǎng)開關(guān)技術(shù)(Fringe?Field?Switching，F(xiàn)FS)等。

在公告號(hào)為CN100373241C的中國(guó)專利中公開了一種IPS模式的液晶顯示面板，結(jié)合參考圖1和圖2，分別示出了所述中國(guó)專利中IPS模式的液晶顯示面板的示意圖以及電極俯視圖，所述液晶顯示面板包括：陣列基板20，彩膜基板30，位于陣列基板20和彩膜基板30之間的液晶層40，所述陣列基板20包括以矩陣式排布的多條數(shù)據(jù)線1和多條掃描線(圖未示)，在所述數(shù)據(jù)線1和所述掃描線的每個(gè)交叉點(diǎn)處設(shè)置有薄膜晶體管(Thin?Film?Transistor，TFT)(圖未示)。所述液晶顯示面板還包括與所述TFT的漏極相連的像素電極6，以及位于所述像素電極6下方的公共電極7，所述像素電極6、所述公共電極7和所述數(shù)據(jù)線1均為彎折的條形電極結(jié)構(gòu)，所述像素電極6、所述公共電極7和所述數(shù)據(jù)線1相互平行，在所述像素電極6上加載像素電壓，在所述公共電極7上加載公共電壓時(shí)，所述像素電極6和所述公共電極7之間會(huì)形成平行于陣列基板20(或彩膜基板30)電場(chǎng)，所述電場(chǎng)可以使液晶層40在平行于陣列基板20的平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。

所述像素電極6和所述公共電極7之間設(shè)置有氮化硅層22，用于實(shí)現(xiàn)像素電極6和公共電極7的絕緣。然而，所述絕緣層對(duì)光線具有一定的吸收作用和濾色作用，這容易導(dǎo)致液晶顯示面板透光率的下降。

同樣的，在FFS模式的液晶顯示面板中也存在類似的問題。在公告號(hào)為CN101046592C的中國(guó)專利中就公開了一種FFS模式的液晶面板。參考圖3，示出了所述中國(guó)專利中FFS模式的液晶顯示面板的示意圖，所述液晶顯示裝置包括：陣列基板AR、彩色濾光片基板CF、以及位于陣列基板AR和彩色濾光片基板CF之間的液晶層LC，所述陣列基板AR在入射光的入射面上設(shè)置有第一偏振片61，彩色濾光片基板CF在透射光的出射面上設(shè)置有與第一偏光片61偏振方向垂直的第二偏光片62，其中，陣列基板AR，在與液晶層LC相對(duì)的面上設(shè)置公共電極75、位于公共電極75上的絕緣層76以及位于絕緣層76上的多個(gè)條狀像素電極78，在公共電極75上加載公共電壓，在條狀像素電極78上加載像素電壓，則可以在條狀像素電極78和公共電極75之間形成電場(chǎng)，所述電場(chǎng)可以控制液晶分子在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，施加于條狀像素電極78上的像素電壓不同，則液晶分子的偏轉(zhuǎn)角度不同。液晶顯示裝置通過水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的液晶分子對(duì)入射光進(jìn)行調(diào)制，同時(shí)在第一偏光片61和第二偏光片62的配合下，可以獲得不同的灰階的透射光，從而實(shí)現(xiàn)顯示目的。

類似地，所述絕緣層76會(huì)導(dǎo)致液晶顯示面板透光率的下降。

除了造成透光率下降之外，絕緣層還容易使公共電極和數(shù)據(jù)線之間的電容耦合過大，從而增大液晶顯示裝置的功耗。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問題是提供一種具有較高光透過率的陣列基板及其制造方法、液晶顯示面板。

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種陣列基板的制造方法，包括：在透明基板上形成絕緣相交的掃描線和數(shù)據(jù)線，位于所述掃描線和數(shù)據(jù)線交界處與所述掃描線和數(shù)據(jù)線均相連的薄膜晶體管，以及存儲(chǔ)電容，所述掃描線和數(shù)據(jù)線圍成像素區(qū)域，所述薄膜晶體管和存儲(chǔ)電容位于所述像素區(qū)域中；在形成有掃描線、數(shù)據(jù)線、薄膜晶體管和存儲(chǔ)電容的所述透明基板上形成絕緣層；通過半透膜掩模板圖案化所述絕緣層形成過孔并使所述像素區(qū)域中透光區(qū)域的絕緣層厚度小于所述數(shù)據(jù)線上的絕緣層厚度；在所述絕緣層上形成一透明導(dǎo)電層，圖案化所述透明導(dǎo)電層形成公共電極和像素電極，至少部分所述公共電極與所述數(shù)據(jù)線交疊，像素電極通過所述過孔與所述TFT的漏極相連。

可選地，通過半透膜掩模板圖案化所述絕緣層，使像素區(qū)域中透光區(qū)域的絕緣層的厚度為所述數(shù)據(jù)線上的絕緣層的厚度的1/3~1/2。

可選地，所述絕緣層為有機(jī)膜，形成絕緣層的步驟包括：通過涂覆的方式形成所述有機(jī)膜。

可選地，形成有機(jī)膜的步驟包括：涂覆的有機(jī)膜的厚度位于1500~2000nm的范圍內(nèi)。