[發(fā)明專利]輻射源

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210342390.1
• 申請日: 2012-09-14
• 公開（公告）號: CN103019037A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J·范德埃克;A·T·W·凱姆彭;A·C·庫普爾斯
• 申請（專利權(quán)）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 張啟程

1.一種輻射源，包括：

貯存器，配置成保持一體積的燃料；

噴嘴，與貯存器流體連接，配置成沿著朝向等離子體形成位置的軌跡引導(dǎo)燃料的流；

激光輻射組件，配置成將激光輻射引導(dǎo)到在等離子體形成位置處的所述燃料的流上，以產(chǎn)生用于產(chǎn)生輻射的等離子體；和

污染物過濾器組件，定位在輻射源的燃料流路中且在噴嘴出口的上游，污染物過濾器組件的過濾介質(zhì)被通過由至少部分地圍繞過濾介質(zhì)的一個(gè)或更多的物體提供的夾持力保持在污染物過濾器組件內(nèi)的適合位置上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輻射源，其中過濾介質(zhì)通過已經(jīng)被收縮配合成圍繞過濾介質(zhì)且將夾持力施加至過濾介質(zhì)的一個(gè)或更多的物體保持在適合的位置上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的輻射源，其中一個(gè)或更多的圍繞物體包括下述中的一個(gè)或更多個(gè)：

污染物過濾器組件的部件；

污染物過濾器組件的進(jìn)口；

污染物過濾器組件的出口；

污染物過濾器組件的過濾介質(zhì)外殼；或

用于運(yùn)送燃料的導(dǎo)管。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的輻射源，其中所述過濾介質(zhì)包括下述中的一個(gè)或更多個(gè)：

陶瓷材料；

包括氧化鋯的陶瓷材料；

包括氧化鋁的陶瓷材料；

包括碳化硅的陶瓷材料；或

包括氮化硅的陶瓷材料。

5.一種流體流生成器，包括：

貯存器，配置成保持一體積的流體；

噴嘴，與貯存器流體連接，且配置成沿著一軌跡引導(dǎo)流體的流；

污染物過濾器組件，定位在流體流生成器的流體流路中且在噴嘴出口的上游，污染物過濾器組件包括過濾介質(zhì)，其中所述過濾介質(zhì)被配置成通過由至少部分地圍繞過濾介質(zhì)的一個(gè)或更多的物體提供的夾持力保持在污染物過濾器組件內(nèi)的適合位置上。

6.一種方法，包括：

將過濾介質(zhì)包含到流體流生成器的污染物過濾器組件中；和

利用在污染物過濾器組件的使用期間將至少部分地圍繞過濾介質(zhì)且保持夾持力的一個(gè)或更多的物體將過濾介質(zhì)夾持在一位置上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中所述方法還包括：

對在污染物過濾器組件的使用期間將至少部分地圍繞過濾介質(zhì)的所述一個(gè)或更多的物體進(jìn)行加熱，用于使得所述一個(gè)或更多的物體膨脹至允許過濾介質(zhì)定位在一位置上的程度，由此所述一個(gè)或更多的物體圍繞過濾介質(zhì)；

將過濾介質(zhì)定位在所述位置上；和

冷卻或允許冷卻圍繞過濾介質(zhì)的所述一個(gè)或更多的物體，使得至少部分地圍繞過濾介質(zhì)的所述一個(gè)或更多的物體將夾持力施加到過濾介質(zhì)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中所述加熱步驟是加熱至超過過濾器的操作溫度的溫度，使得在過濾器的操作期間保持夾持力。

9.一種方法，包括步驟：

從流體流生成器過濾器的污染物過濾器組件移除過濾介質(zhì)，所述過濾介質(zhì)通過至少部分地圍繞過濾介質(zhì)的一個(gè)或更多的物體被夾持在過濾器組件內(nèi)的合適位置上；

移除通過至少部分地圍繞過濾介質(zhì)的所述一個(gè)或更多的物體所提供的夾持力；和

移除未被夾持的過濾介質(zhì)。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的方法，其中所述方法還包括步驟：

對至少部分地圍繞過濾介質(zhì)的所述一個(gè)或更多的物體進(jìn)行加熱，用于使得所述一個(gè)或更多的物體膨脹至允許移除過濾介質(zhì)的程度；和

移除過濾介質(zhì)。

11.一種輻射源，包括：

貯存器，配置成保持一體積的燃料；

噴嘴，與貯存器流體連接，配置成沿著朝向等離子體形成位置的軌跡引導(dǎo)燃料的流；

激光輻射組件，配置成將激光輻射引導(dǎo)到在等離子體形成位置處的所述燃料的流上，以產(chǎn)生用于產(chǎn)生輻射的等離子體；和

污染物過濾器組件，定位在輻射源的燃料流路中且在噴嘴出口的上游，污染物過濾器組件的過濾介質(zhì)包括陶瓷材料。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的輻射源，其中所述過濾介質(zhì)定位在污染物過濾器組件的過濾介質(zhì)外殼中，其中所述外殼的一個(gè)或更多的內(nèi)表面包括陶瓷材料。