[發明專利]一種大行程、高精度的微動臺

無效

• 申請號: 201210340082.5
• 申請日: 2012-09-14
• 公開（公告）號: CN102830711A
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發明（設計）人: 袁慶丹
• 申請（專利權）人: 袁慶丹
• 主分類號: G05D3/00
• 分類號: G05D3/00
• 代理公司: 佛山市永裕信專利代理有限公司 44206
• 代理人: 楊啟成

技術領域

?本發明涉及一種微運動平臺裝置。

背景技術

自上世紀末起，制造技術向著超精密、微型化方向，生物技術向著基因組分析方向以及微電子技術向著超大規模集成型方向發展，這些領域對微動裝置提出了新的要求，即微動臺能精確輸出納米量級的位移，并要有盡可能大的驅動力和運動范圍，有高的分辨率和控制精度，從而能方便地實現微定位和納米測量。

目前，我國生產企業和科研院所所使用的微動臺多數依賴進口，價格昂貴，維修和調試不方便，而國內設計生產的微動臺普遍存在精度低、應用范圍狹窄等缺點，因此市場占有率不高，難以大量投入應用。

發明內容

本發明的發明目的在于適應精密加工制造和定位的需要，結合機械、電子、光學測量、智能控制等相關技術，設計一種能輸出納米量級的位移，具備較大的驅動力和運動范圍，高的分辨率和控制精度，能方便地實現微定位的大行程、高精度的微動臺。

本發明是這樣實現的：包括宏運動部分、微運動部分、微電腦控制裝置，宏運動部分包括直線導軌、由精密滾珠絲杠機構帶動的宏動臺、光柵測量器，微運動部分包括設置在宏動臺上的微動驅動機構、由微動驅動機構帶動的工件固裝置、激光干涉測量儀，光柵測量器的電信號輸出、激光干涉測量儀的電信號輸出分別與微電腦控制裝置的電信號輸入相連，微電腦控制裝置的控制電信號輸出分別與精密滾珠絲杠機構的控制電信號輸入、微動驅動機構的控制電信號輸入相連。

使用時，將工件安裝至工件固裝置，微電腦控制裝置發出運動指令，控制精密滾珠絲杠機構上的交流伺服電機運轉，電機的轉動將使宏動臺作直線進給運動，從而實現工件固裝置大行程的功能。宏動臺的實際位移經光柵測量器測得，返回給微電腦控制裝置，形成閉環控制，控制算法將采用智能PID算法，以提高運動精度。工件固裝置的運動也是根據計算機發出的指令，經微電腦控制裝置處理后，再通過微動驅動機構實現工件固裝置納米級直線進給或轉動，其實際微位移由激光干涉測量儀測得，并返回至微電腦控制裝置，進行誤差補償，達到閉環控制的目的。

?????這里，微動驅動機構包括設置在宏動臺上的三套以上的三自由度移動單元、三套微動動力裝置，三自由度移動單元包括固定在宏動臺上的導槽、通過第一導軌滑動設置在導槽上的中間構件、轉動設置在中間構件上的轉盤、設置在轉盤上的第二導軌、通過導槽滑動設置在第二導軌上的基座，第二導軌與第一導軌相互垂直，其中兩相鄰的三自由度移動單元的第一導軌相互平行，并垂直于另外的三自由度移動單元的第一導軌，微動動力裝置包括固定在宏動臺上的立柱、設置在立柱與中間構件間的壓電陶瓷。三自由度移動單元呈多邊形分布，多邊形的邊的數量與三自由度移動單元的數量相同。

工作時，通過三套微動動力裝置上的壓電陶瓷的不同的伸縮量，來實現工件固裝置的前后移動、左右移動、旋轉等微運動。

這里，為了方便控制，微電腦控制裝置包括PC控制器、宏運動控制板、微運動控制板，光柵測量器的電信號輸出、激光干涉測量儀的電信號輸出分別與宏運動控制板的電信號輸入、微運動控制板的電信號輸入相連，宏運動控制板的控制電信號輸出、微運動控制板的控制電信號輸出分別與精密滾珠絲杠機構上的伺服驅動板的控制電信號輸入、壓電陶瓷上的壓電陶瓷驅動器的控制電信號輸入相連，PC控制器的電信號通信端分別與宏運動控制板的電信號通信端、微運動控制板的電信號通信端相連。

這里，在中間構件與宏動臺間連接有柔性鉸接。采用柔性鉸接，使中間構件穩定地設置在宏動臺上，同時，又能在一定幅度上進行微移動。

本發明與已有技術相比，具有能輸出納米量級的位移，具備較大的驅動力和運動范圍，高的分辨率和控制精度，能方便地實現微定位的優點。

附圖說明

圖1是本發明微動臺的系統原理圖；

圖2為微動驅動機構的結構示意圖；

圖3為三自由度移動單元的結構示意圖

具體實施方式：

現結合附圖和實施例對本發明做進一步詳細描述：

本發明包括宏運動部分1、微運動部分2、微電腦控制裝置3，宏運動部分1包括直線導軌4、由精密滾珠絲杠機構5帶動的宏動臺6、光柵測量器7，微運動部分2包括設置在宏動臺6上的微動驅動機構8、由微動驅動機構8帶動的工件固裝置9、激光干涉測量儀10，光柵測量器7的電信號輸出、激光干涉測量儀10的電信號輸出分別與微電腦控制裝置3的電信號輸入相連，微電腦控制裝置3的控制電信號輸出分別與精密滾珠絲杠機構5的控制電信號輸入、微動驅動機構8的控制電信號輸入相連。