[發(fā)明專利]一種消除藍(lán)寶石晶體生長過程中氣泡的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210339878.9 | 申請日: | 2012-09-13 |
| 公開(公告)號: | CN102899724A | 公開(公告)日: | 2013-01-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 呂鐵錚 | 申請(專利權(quán))人: | 呂鐵錚;趙麗麗;李萬輝 |
| 主分類號: | C30B30/06 | 分類號: | C30B30/06;C30B29/20 |
| 代理公司: | 成都高遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 51222 | 代理人: | 李高峽 |
| 地址: | 212003 江蘇省鎮(zhèn)江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 消除 藍(lán)寶石 晶體生長 過程 氣泡 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種消除氣泡的方法,特別涉及一種消除藍(lán)寶石晶體生長過程中氣泡的方法。
背景技術(shù)
藍(lán)寶石是人工生長的單晶α-Al2O3,無色透明,與天然寶石具有相同的光學(xué)特性和機(jī)械性能,對紅外射線透過率高,有很好的耐磨性,硬度達(dá)莫氏9級,在高溫下仍具有較高的穩(wěn)定性,熔點為2030℃,可用于激光紅外窗口,半導(dǎo)體襯底片,精密耐磨軸承等高技術(shù)領(lǐng)域中的零件,同時還被制成各種精美華貴的飾品。
藍(lán)寶石晶體生長為典型的熔體固化的生長方法:原料先在高溫下被加熱融化成熔體,然后通過籽晶開始固化生長,其生長過程相對緩慢,在生長完成后,晶體進(jìn)行退火冷卻。使用熔融固化方法制備藍(lán)寶石晶體時,最大的技術(shù)瓶頸就是在長晶過程中,易產(chǎn)生大量氣泡溶于熔體中,最終包含在晶體中,增加晶體的散射程度,降低藍(lán)寶石晶體的質(zhì)量。
專利號:ZL200410008593.2,發(fā)明名稱:一種藍(lán)寶石Al2O3單晶的生長方法的專利文件公開了一種藍(lán)寶石Al2O3單晶的生長方法,其是在下降法或熱交換法生長Al2O3單晶的方法的基礎(chǔ)上,添加一個攪拌器對熔體進(jìn)行攪拌,Al2O3單晶結(jié)晶過程中利用攪拌器的轉(zhuǎn)動對熔體進(jìn)行攪拌,攪拌器通過密封結(jié)密封。在生長晶體過程中,由于攪拌器的作用,在熔體中產(chǎn)生強(qiáng)迫對流,達(dá)到排出氣泡的目的。該方法是使用攪拌器來排除氣泡,存在如下問題:1.攪拌器本身會對熔體造成一定的污染;2.由于氧化鋁熔體的粘度比較高,所以機(jī)械攪拌耗能大;3.攪拌器本身在高溫下也會產(chǎn)生一定的形變,需要定期更換;4.需要根據(jù)熔體狀態(tài)隨時進(jìn)行調(diào)整,操作不便。
需要尋找更為簡便、耗能低、成本低廉的方法來解決該問題。
超聲波,是頻率高于20000赫茲的聲波,它方向性好,穿透能力強(qiáng),易于獲得較集中的聲能,在水中傳播距離遠(yuǎn),可用于測距、測速、清洗、焊接、碎石、殺菌消毒等。現(xiàn)已有用超聲波來處理藍(lán)寶石的報道,但均僅限于清洗藍(lán)寶石晶體,以除去表面的雜質(zhì),如,申請?zhí)枺?00710305836.2,發(fā)明名稱:藍(lán)寶石襯底清洗方法的專利申請文件,以及周海等,“超聲波清洗在藍(lán)寶石鏡面加工中的應(yīng)用”,《機(jī)械》2000年底27卷第1期均報道了,制備得到藍(lán)寶石晶體后,用超聲波來清洗晶體,除去其表面粘附的雜質(zhì)的方法。
發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題,本發(fā)明提供了一種新的消除藍(lán)寶石晶體生長過程中氣泡的方法。
本發(fā)明消除藍(lán)寶石晶體生長過程中氣泡的方法,它是在藍(lán)寶石晶體生長過程中,加載超聲波,超聲波的頻率不低于230kHz。
優(yōu)選地,所述超聲波頻率為230-400kHz。
進(jìn)一步優(yōu)選地,所述超聲波頻率為350-400kHz。
優(yōu)選地,所述超聲波垂直于藍(lán)寶石晶體生長的固液生長界面。
在藍(lán)寶石晶體的生長過程中,本發(fā)明使用超聲波來除去熔體中的氣泡,降低藍(lán)寶石晶體中的氣泡率,提高藍(lán)寶石晶體的質(zhì)量,操作簡單,不會污染熔體,耗能小,成本低,有較強(qiáng)的工業(yè)應(yīng)用價值。
顯然,根據(jù)本發(fā)明的上述內(nèi)容,按照本領(lǐng)域的普通技術(shù)知識和慣用手段,在不脫離本發(fā)明上述基本技術(shù)思想前提下,還可以做出其它多種形式的修改、替換或變更。
以下通過實施例形式的具體實施方式,對本發(fā)明的上述內(nèi)容再作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。但不應(yīng)將此理解為本發(fā)明上述主題的范圍僅限于以下的實例。凡基于本發(fā)明上述內(nèi)容所實現(xiàn)的技術(shù)均屬于本發(fā)明的范圍。
附圖說明
圖1本發(fā)明晶體爐
其中,1為主爐體、2為氧化鋯管、3為高溫計、4為坩堝、5為石墨支柱、6為導(dǎo)流筒、7為超聲波發(fā)生器、8為熱交換器、9為超聲波接收器
具體實施方式
實施例1本發(fā)明消除藍(lán)寶石晶體生長過程中氣泡的方法
在型號為CHES-260TM的美國ARC公司晶體生長爐上,添加超聲波發(fā)生器和超聲波接收器,結(jié)構(gòu)如圖1所示,作為本發(fā)明晶體生長爐。
1、制備方法
(1)裝料及籽晶放置:將經(jīng)過精確定向的直徑為20mm的(0001)方向優(yōu)質(zhì)藍(lán)寶石籽晶置于坩堝底部籽晶槽內(nèi),然后將47kg經(jīng)過預(yù)處理的高純氧化鋁塊料和粉料(純度>99.995%,塊料和粉料比例為7:3)放入晶體爐坩堝內(nèi),關(guān)閉晶體爐,啟動冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。
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