[發明專利]力傳感器

有效

• 申請號: 201210337966.5
• 申請日: 2012-09-13
• 公開（公告）號: CN102998036A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: M·鮑曼;A·彼得;P·魯特;O·保羅
• 申請（專利權）人: 邁克納斯公司
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18;G01L9/06;G01L23/18
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 曾立

1.力傳感器（10），具有：

載體（20），其具有前側（25）和背側（28），

半導體本體（30），其具有表面（35）和背面（38）和構造在所述半導體本體（30）的所述表面（35）上的壓阻元件（40），其中，所述半導體本體（30）與所述載體（20）力鎖合地連接，

第一翼部（50），其構造在所述半導體本體（30）的表面上并且具有上側（35）和下側（38），其中，所述第一翼部（50）能夠基本上沿著所述半導體本體（30）的所述表面（35）的法向量彈性運動，并且所述第一翼部（50）與所述半導體本體（30）力鎖合地連接以及所述半導體本體（30）在所述第一翼部（50）運動時被構造為支座，并且在所述第一翼部（50）上構造有第一力導入區域（59），

其特征在于，

與所述第一翼部（50）相對置地設置的第二翼部（60）構造有第二力導入區域（69），并且

所述壓阻元件（40）設置在所述第一翼部（50）與所述第二翼部（60）之間，并且

設置有與所述第一力導入區域（59）和所述第二力導入區域（69）力鎖合地連接的、橋狀構造的力分布裝置（70），其中，所述力分布裝置（70）具有與所述半導體本體（30）的所述表面（35）背離的第一面，所述第一面具有第三力導入區域（79）。

2.根據權利要求1所述的力傳感器（10），其特征在于，所述第一翼部（50）和所述第二翼部（60）具有基本上相同的外部構型，并且所述第一力導入區域（59）設置在所述第一翼部（50）的外端部上并且所述第二力導入區域（69）設置在所述第二翼部（60）的外端部上。

3.根據權利要求1或2所述的力傳感器（10），其特征在于，所述第三力導入區域（79）居中地構造在所述第一力導入區域（59）與所述第二力導入區域（69）之間，并且所述第三力導入區域（79）具有用于容納力導入裝置（80）的成形部。

4.根據權利要求3所述的力傳感器（10），其特征在于，所述力導入裝置（80）球形地構造并且由鋼制成。

5.根據以上權利要求中任一項所述的力傳感器（10），其特征在于，所述力分布裝置（70）的抗彎強度大于所述第一翼部（50）的抗彎強度和所述第二翼部（60）的抗彎強度。

6.根據以上權利要求中任一項所述的力傳感器（10），其特征在于，所述力分布裝置（70）具有梁狀構造的區域。

7.根據以上權利要求中任一項所述的力傳感器（10），其特征在于，在所述力分布裝置（70）與所述第一力導入區域（59）和所述第二力導入區域（69）之間分別構造有一個中間件（100）。

8.根據以上權利要求中任一項所述的力傳感器（10），其特征在于，所述半導體本體（30）的位于所述第一翼部（50）與所述第二翼部（60）之間的部分被構造為無支承的板狀結構并且容納所述壓阻元件（40）。

9.根據權利要求8所述的力傳感器（10），其特征在于，所述板狀結構在兩個彼此對置的側上與設置在所述無支承的結構外部的半導體本體（30）連接，并且所述第一翼部（50）和所述第二翼部（60）以及所述無支承的結構形成十字形布置。

10.根據權利要求8所述的力傳感器（10），其特征在于，所述第一翼部（50）和所述第二翼部（60）位于所述載體（20）上。

11.根據以上權利要求中任一項所述的力傳感器（10），其特征在于，所述第一翼部（50）和所述第二翼部（60）以及所述半導體本體（30）一體地構造。

12.根據以上權利要求中任一項所述的力傳感器（10），其特征在于，所述第一翼部（50）的下側和所述第二翼部（60）的下側與所述載體（20）的距離用作相應的翼部（50，60）的偏轉的限制。

13.根據權利要求1至11中任一項所述的力傳感器（10），其特征在于，在所述力分布裝置（70）上設置有成形部，并且借助于所述成形部限制所述第一翼部（50）的偏轉。

14.根據以上權利要求中任一項所述的力傳感器（10），其特征在于，所述力分布裝置（70）包括硅。

15.根據以上權利要求中任一項所述的力傳感器（10），其特征在于，在所述半導體本體（30）的所述表面（35）上在離開所述第一翼部（50）的地方和在離開所述第二翼部（60）的地方構造有集成電路并且所述集成電路具有與所述壓阻元件（40）的電有效連接。