[發(fā)明專利]透射式電場輔助光電陰極

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210337896.3
• 申請日: 2012-09-12
• 公開（公告）號: CN102891190A
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發(fā)明（設計）人: 唐光華;戴麗英;鐘偉俊;徐漢成;申屠軍;李拂曉
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團公司第五十五研究所
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 夏雪

1.一種透射式電場輔助光電陰極，包括：

一光電陰極組件(10)和一管殼結(jié)構(gòu)組件(20)；

光電陰極組件(10)包括：

一具有臺階結(jié)構(gòu)的輸入光窗(11)；

一ITO膜(12)，該ITO膜(12)蒸鍍在輸入光窗(11)的有效面、一個臺階面和連接該臺階面與有效面的斜面上；

第一金屬電極(13)，該第一金屬電極(13)蒸鍍在輸入光窗(11)有效面以外的ITO膜(12)上；

第二金屬電極(14)，該第二金屬電極(14)蒸鍍在輸入光窗(11)未蒸鍍ITO膜(12)的臺階面和連接該臺階面與有效面的斜面上；

一陰極襯底(15)，該陰極襯底(15)包括P⁺或N⁺摻雜的半導體襯底，該陰極襯底(15)粘附在輸入光窗(11)的有效面上的ITO膜(12)上；

一金屬環(huán)電極(16)，該金屬環(huán)電極(16)蒸鍍在陰極襯底(15)的上表面的邊緣處；

一金屬絲(17)，該金屬絲(17)連接金屬環(huán)電極(16)和第二金屬電極(14)；

管殼結(jié)構(gòu)組件(20)包括：

第一陶瓷環(huán)(21)；

一金屬電極接觸環(huán)(22)，該金屬電極接觸環(huán)(22)封接于第一陶瓷環(huán)(21)上，該金屬電極接觸環(huán)(22)與第二金屬電極(14)接觸；

第二陶瓷環(huán)(23)封接于金屬電極接觸環(huán)(22)上；

一上封接環(huán)(24)，該上封接環(huán)(24)封接于第二陶瓷環(huán)(23)上，該上封接環(huán)(24)用于和光電陰極組件(10)實現(xiàn)銦封。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述透射式電場輔助光電陰極，其特征在于：所述輸入光窗(11)的材料為石英玻璃或康寧玻璃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述透射式電場輔助光電陰極，其特征在于：所述ITO膜(12)的厚度為10nm~200nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述透射式電場輔助光電陰極，其特征在于：所述第一金屬電極(13)、第二金屬電極(14)和金屬環(huán)電極(16)均包括依次設置的Cr層和Ni層，該Cr層和Ni層的總厚度為20nm~500nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述透射式電場輔助光電陰極，其特征在于：所述陰極襯底(15)還包括設置在P+或N+摻雜的半導體襯底上的P型摻雜半導體材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述透射式電場輔助光電陰極，其特征在于：所述金屬絲(17)的焊接性能好。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述透射式電場輔助光電陰極，其特征在于：所述金屬絲(17)為金絲。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述透射式電場輔助光電陰極，其特征在于：所述金屬電極接觸環(huán)(22)和上封接環(huán)(24)為可伐合金。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述透射式電場輔助光電陰極，其特征在于：所述金屬電極接觸環(huán)(22)具有一彈性接觸片，該彈性接觸片和第二金屬電極(14)接觸。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述透射式電場輔助光電陰極，其特征在于：所述第一陶瓷環(huán)(21)的厚度大于第二陶瓷環(huán)(23)的厚度。