[發(fā)明專利]高強(qiáng)度電磁輻射裝置與方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210336987.5
• 申請日: 2004-02-12
• 公開（公告）號: CN102891068A
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 大衛(wèi)·瑪爾科穆·卡穆;陳志成;里克·杜蘭;托尼·休伊特;阿恩·克約韋爾;托尼·科馬薩;邁克·克拉斯尼希;史蒂夫·麥科伊;約瑟夫·雷耶斯;伊戈·魯?shù)峡?/a>;盧德米拉·舍佩列夫;格雷戈·斯圖爾特;蒂爾曼·斯魯姆;阿歷克斯·維埃爾
• 申請（專利權(quán)）人: 加拿大馬特森技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01J61/90
• 分類號: H01J61/90;H01J61/52
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 陳煒;李德山

1.一種用于產(chǎn)生電磁輻射的裝置，該裝置包括：

a)電絕緣的流發(fā)生器，其被配置成生成沿封套內(nèi)表面的液體流，其中所述電絕緣的流發(fā)生器包括電導(dǎo)體和圍繞所述導(dǎo)體的電絕緣；

b)第一和第二電極，其被配置成在封套內(nèi)生成電弧，以便產(chǎn)生電磁輻射；以及

c)到所述第一電極的電連接，其中所述電連接包括所述電絕緣的流發(fā)生器的所述導(dǎo)體，并且所述電絕緣圍繞所述第一電極和所述導(dǎo)體。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述第一電極包括陰極。

3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述電絕緣包括所述封套。

4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其中所述電絕緣還包括絕緣罩。

5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其中所述絕緣罩圍繞至少部分所述封套。

6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其中所述電絕緣還包括所述絕緣罩與所述封套的所述部分之間的空間中的氣體。

7.如權(quán)利要求6所述的裝置，還包括與所述絕緣罩的內(nèi)表面和所述封套的所述部分的外表面配合以便將所述氣體密封到所述空間中的一對彼此隔開的密封。

8.如權(quán)利要求7所述的裝置，其中所述氣體是壓縮的。

9.如權(quán)利要求4所述的裝置，其中所述絕緣罩包括塑料和陶瓷中的至少一種。

10.如權(quán)利要求3所述的裝置，其中所述封套包括透明圓柱管。

11.如權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述管具有至少四毫米的厚度。

12.如權(quán)利要求11所述的裝置，其中所述管具有至少五毫米的厚度。

13.如權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述管包括精膛圓柱管。

14.如權(quán)利要求13所述的裝置，其中所述精膛圓柱管具有至少低到5×10^-2毫米的尺度容差。

15.如權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述管包括石英。

16.如權(quán)利要求15所述的裝置，其中所述管包括純石英。

17.如權(quán)利要求15所述的裝置，其中所述管包括摻鈰石英。

18.如權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述管包括藍(lán)寶石。

19.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述第一和第二電極包括陰極和陽極，所述陰極具有比所述陽極短的長度。

20.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述第一電極包括具有突出長度的陰極，所述陰極沿該突出長度在所述封套內(nèi)軸向向內(nèi)、向著裝置的中心突出，超過封套中所述裝置的次最內(nèi)部件。

21.如權(quán)利要求20所述的裝置，其中所述突出長度小于所述陰極直徑的兩倍。

22.如權(quán)利要求21所述的裝置，其中所述突出長度足夠長，以便防止所述電弧在所述流發(fā)生器與所述第二電極之間發(fā)生。

23.如權(quán)利要求22所述的裝置，其中所述突出長度至少是三點五厘米。

24.如權(quán)利要求20所述的裝置，其中所述流發(fā)生器包括所述次最內(nèi)部件，而且其中超過所述流發(fā)生器的陰極突出長度小于五厘米。

25.一種系統(tǒng)，包括多個如權(quán)利要求1所限定的裝置，所述多個裝置被配置成輻照共同的目標(biāo)。

26.如權(quán)利要求25所述的系統(tǒng)，其中所述多個裝置被配置成輻照半導(dǎo)體晶片。

27.如權(quán)利要求25所述的系統(tǒng)，其中所述多個裝置被配置成彼此并聯(lián)。

28.如權(quán)利要求27所述的系統(tǒng)，其中所述多個裝置中的每個裝置排列在與所述多個裝置中的相鄰裝置相對的方向上。

29.如權(quán)利要求28所述的系統(tǒng)，其中所述多個裝置中的所述每個裝置的陰極與所述多個裝置中的所述相鄰裝置的陽極相鄰。

30.如權(quán)利要求27所述的系統(tǒng)，其中所述多個裝置中的每個裝置的所述第一和第二電極之間的軸線與所述多個裝置中的相鄰裝置的所述第一和第二電極之間的軸線隔開小于1×10^-1米。