[發(fā)明專利]刻劃方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210336388.3
• 申請日: 2012-09-05
• 公開（公告）號: CN103030267A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設計）人: 酒井敏行
• 申請（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: C03B33/10
• 分類號: C03B33/10
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

技術領域

本發(fā)明涉及一種玻璃基板等脆性材料基板的刻劃方法，更詳細而言，特別是涉及一種于基板上沿著分割預定線形成縱、橫劃線(切槽)的刻劃方法。

背景技術

已知有如下方法，即，如圖11所示，借由一面將刀輪按壓至大面積的母基板W一面使其轉(zhuǎn)動，而形成相互交叉的多條縱、橫劃線Sa、Sb，沿著該劃線將基板W折斷，借此分割為各單位制品并取出單位制品W1(例如專利文獻1、專利文獻2等)。

在利用刀輪C交叉刻劃該種相互交叉的縱向劃線Sa及橫向劃線Sb時，有在劃線Sa、Sb的交點處產(chǎn)生被稱為「切損」或「破裂」的加工不良的情形。

所謂「切損」是指如圖12所示，在最初形成縱向劃線Sa后，使刀輪C壓接轉(zhuǎn)動而形成橫向劃線Sb時，承載有刀輪的壓接力(按壓力)之側(cè)的基板(圖左側(cè)的基板)較未承載該壓接力之側(cè)的基板(圖右側(cè)的基板)而言如箭頭所示般下沉，當越過已設的劃線Sa時，到達至右側(cè)的基板時產(chǎn)生的微細的切損(圖中以α表示)。

又，所謂「破裂」是指如圖13所示，在最初形成縱向劃線Sa后，形成橫向劃線Sb時，刀輪越過已設的劃線Sa時，劃線Sa的垂直方向的裂痕K在基板的背面附近向傾斜方向形成。圖中以β表示該「破裂」。

該種「切損」或「破裂」當然為損害分割后的制品的品質(zhì)者，且成為降低制造良率的較大的原因。

因此，在專利文獻3中揭示有如下方法，即，在交叉刻劃脆性材料基板時，以在劃線的交點附近暫時減小刀輪的刻劃壓力的方式控制按壓力，從而防止「切損」或「破裂」的產(chǎn)生。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2001-328833號公報

[專利文獻2]日本專利特開2004-359502號公報

[專利文獻3]日本專利特開2009-132614號公報

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所欲解決的問題]

然而，于以在劃線的交點附近暫時減小刀輪的刻劃壓力的方式控制按壓力的專利文獻3所記載的方法中，需要使按壓力復雜變化的專用的控制程序或機械動作系統(tǒng)而花費時間與成本。又，存在因具有厚度的基板或材料組成而基本無法減小刻劃壓力的情形，而無法完全防止「切損」或「破裂」。

又，若在劃線的交點附近減小刀輪的刻劃壓力，則有產(chǎn)生被稱為「交點消失」的不良現(xiàn)象之虞。該現(xiàn)象是指在借由刀輪形成最初形成的劃線、及與其交叉的第2劃線時，之后應形成的劃線并未在交點附近形成。認為其原因在于，在最初形成的劃線的槽兩側(cè)殘存有應力，在刀輪橫切殘存有該應力的部位時，刀輪的按壓力削弱。若產(chǎn)生該種「交點消失」的現(xiàn)象，則當然在自劃線分割基板時無法獲得美觀的分割面，而無法制作高品質(zhì)的制品。

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種解決上述「切損」「破裂」「交點消失」等先前課題的新穎的脆性材料基板的刻劃方法。

[解決問題的技術手段]

為達成上述目的，在本發(fā)明中采取如下的技術手段。即，本發(fā)明的刻劃方法是一種利用刀輪在基板形成縱向劃線及橫向劃線的刻劃方法，首先，借由縱向刻劃上述基板，而空出成為端材的縱狹縫形成多行由成為左邊及右邊的2條縱向劃線而形成的縱向單位制品行。其次，自形成上述縱向單位制品行的單側(cè)邊即左邊或右邊的縱向劃線起進行橫向刻劃，直至形成另一側(cè)邊即右邊或左邊的縱向劃線為止，借此依序加工劃分單位制品的橫向劃線。

[發(fā)明的效果]

根據(jù)本發(fā)明的刻劃方法，為了在刻劃時刀輪不使劃線交叉，而在單位制品行的形成左邊(或右邊)的縱向劃線至形成右邊(或左邊)的縱向劃線之間形成橫向劃線，故而不存在越過縱向劃線而形成的交點。借此，具有如下效果，即，可明顯地減少上述交點處的「切損」或「破裂」的產(chǎn)生，并且亦可消除「交點消失」的現(xiàn)象，而可獲得分割面美觀的高品質(zhì)的單位制品。

在本發(fā)明中，較佳為，使用與應形成的縱向單位制品行的數(shù)量相同數(shù)量的刀輪，首先，加工形成縱向單位制品行的各者的單側(cè)邊即左邊或右邊的縱向劃線，其次，加工形成縱向單位制品行的各者的另一側(cè)邊即右邊或左邊的縱向劃線，其次，同時橫排地加工劃分各縱向單位制品行的單位制品的橫向劃線。

借此，以2次刻劃便可空出成為端材的狹縫而形成多行縱向單位制品行，并且亦可同時橫排地形成劃分各縱向單位制品行的單位制品的橫向劃線。

又，在本發(fā)明中，亦可以在上述縱向單位制品行的單位制品之間形成成為端材的橫狹縫的方式加工上述橫向劃線。

借此，由于在相鄰的單位制品的縱、橫之間形成有狹縫，故而可借由分割時將該狹縫部分作為端材廢棄而獲得更高品質(zhì)的單位制品。

附圖說明