[發明專利]一種區熔爐門板鎖緊機構及區熔爐

無效

• 申請號: 201210333759.2
• 申請日: 2012-09-10
• 公開（公告）號: CN102899715A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 袁靜;李巖;王軍;張繼宏
• 申請（專利權）人: 北京京運通科技股份有限公司
• 主分類號: C30B13/00
• 分類號: C30B13/00
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發明涉及半導體材料制備技術領域，尤其涉及一種區熔爐門板鎖緊機構及區熔爐。

背景技術

立式懸浮區熔爐是在真空或惰性氣體環境下利用懸浮區熔技術在懸浮區熔區對半導體材料進行提純和單晶生長的設備，通過計算機實現區熔單晶生長的半自動控制，用于生產無污染、高電阻、高壽命、高純度的半導體材料。

傳統區熔爐門板的鎖緊機構一般都采用多組螺釘鎖緊固定板從而鎖緊門板的方式，所以需要工人用扳手操作，門板的開啟和閉合通常需要幾個工人同時花費幾分鐘操作，開啟鎖緊非常繁瑣，費時費力，效率低下，自動化程度差，影響生產效率。

發明內容

本發明的實施例提供一種區熔爐門板鎖緊機構及區熔爐，用來解決現有鎖緊機構開啟鎖緊費時費力、自動化程度差的問題。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

一種區熔爐門板鎖緊機構，用于實現區熔爐門板的鎖緊與開啟，所述門板的兩相對側分別設有與所述門板的邊緣通過斜面配合的壓緊塊，所述壓緊塊固定連接有推桿，所述推桿連接有驅動機構，所述驅動機構驅動所述推桿往復運動以壓緊或打開所述門板。

優選地，所述斜面與所述門板所在的平面的夾角為10-25度。

優選地，所述推桿往復運動的位移為15-40毫米。

優選地，所述壓緊塊內設有螺紋孔，所述推桿的一端設有與所述螺紋孔配合的螺紋，所述推桿的另一端連接所述驅動機構。

進一步地，所述推桿上設有與所述螺紋配合的定位螺母。

優選地，所述驅動機構為氣動驅動機構、液壓驅動機構或機械驅動機構。

一種區熔爐，包括爐體和覆蓋所述爐體的爐門，所述爐門包括門板和設在所述門板外側并通過螺釘與所述門板連接的固定板，所述門板的兩相對側均設有上述區熔爐門板鎖緊機構。

優選地，所述區熔爐門板鎖緊機構中的驅動機構固定安裝在機座上，所述機座固定安裝在所述爐體上。

優選地，所述機座上設有通孔，所述鎖緊機構安裝在所述通孔內。

本發明實施例提供的區熔爐門板鎖緊機構及區熔爐中，由于所述壓緊塊與所述門板通過斜面配合，因此當所述驅動機構驅動所述推桿向所述門板運動時，所述推桿的水平推力通過所述斜面轉化為對所述門板的垂直壓力，將所述門板壓緊；當所述推桿遠離所述門板運動時，所述門板即被開啟。在此過程中，所述固定板不承受主要力量，只需手動擰緊旋鈕實現所述固定板與所述門板的固定即可。所述爐門的開啟與閉合不需要借助扳手，操作簡單快捷，效率高。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發明實施例提供的一種區熔爐的俯視圖；

圖2為圖1所示A區域的局部放大圖。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。

如圖1和圖2所示，為本發明提供的區熔爐門板鎖緊機構的一個具體實施例，用于實現區熔爐門板的鎖緊與開啟，所述門板2的兩相對側分別設有與所述門板2的邊緣通過斜面9配合的壓緊塊7，所述壓緊塊7固定連接有推桿6，所述推桿6連接有驅動機構4，所述驅動機構4驅動所述推桿6往復運動以壓緊或打開所述門板2。

本發明實施例提供的區熔爐門板鎖緊機構，由于所述壓緊塊7與所述門板2通過斜面9配合，因此當所述驅動機構4驅動所述推桿6向所述門板2運動時，所述推桿6的水平推力通過所述斜面9轉化為對所述門板2的垂直壓力，將所述門板2壓緊；當所述推桿6遠離所述門板2運動時，所述門板2即被開啟。在此過程中，所述爐門的開啟與閉合不需要借助扳手，操作簡單快捷，效率高。

優選地，所述斜面與所述門板所在的平面的夾角為10-25度。這是因為所述斜面的角度過大，會導致所述斜面與所述門板的靜摩擦力過大，造成所述壓緊塊難以往復運動；所述斜面的角度太小，不利于門板的壓緊。例如，所述斜面的傾斜角度優選20度。