[發(fā)明專利]一種納米水基清洗劑及其制備方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210333173.6 | 申請日: | 2012-09-11 |
| 公開(公告)號: | CN102816660A | 公開(公告)日: | 2012-12-12 |
| 發(fā)明(設計)人: | 徐安蓮;周新華;鄧小安;黃云波 | 申請(專利權(quán))人: | 廣東普賽特電子科技股份有限公司;東莞市松山湖微電子材料研發(fā)中心 |
| 主分類號: | C11D10/02 | 分類號: | C11D10/02 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 523808 廣東省東莞市松*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 納米 水基清 洗劑 及其 制備 方法 | ||
1.一種納米水基清洗劑,其所含成分重量百分比(%)為:
皂化劑?????????????????????2.0~18.0%
表面活性劑?????????????????5.0~30.0%
緩蝕劑?????????????????????0.05~0.5%
納米消泡劑?????????????????0.05~0.5%
水溶性納米二氧化硅?????????0.2~1.0%
其余為去離子水,各成分重量之和為100%。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米水基清洗劑,其特征在于:所述的皂化劑為碳酸鈉、碳酸氫鈉、氫氧化鈉、三聚磷酸鈉、磷酸氫二鈉、五水偏硅酸鈉中的一種或幾種。
3.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米水基清洗劑,其特征在于:所述的表面活性劑為聚乙二醇400、聚乙二醇600、辛基酚聚氧乙烯醚、乙氧基類氟碳表面活性劑、聚氧乙烯醚磷酸酯、十二烷基磺酸鈉、十二烷基醚硫酸鈉、單硬脂酸甘油酯中的一種或多種。
4.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米水基清洗劑,其特征在于:所述的緩蝕劑為2-甲基咪唑、咪唑、三乙醇胺、巰基苯駢噻唑中的一種或幾種。
5.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米水基清洗劑,其特征在于:所述的納米消泡劑為納米硅醚消泡劑、納米增效聚醚有機硅消泡劑中的一種或幾種。
6.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米水基清洗劑的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:(1)稱取去離子水,倒入反應釜中;(2)加入2~18%的皂化劑,攪拌至完全溶解;(3)再依次加入5.0~30.0%的表面活性劑、0.05~0.5%的緩蝕劑、0.05~0.5%的納米消泡劑和0.2~1.0%的水溶性納米二氧化硅,攪拌至完全溶解,即得本發(fā)明納米水基清洗劑。
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