[發明專利]拋光工件表面輪廓各頻段誤差的分離方法無效
| 申請號： | 201210331573.3 | 申請日： | 2012-09-07 |
| 公開（公告）號： | CN102853780A | 公開（公告）日： | 2013-01-02 |
| 發明（設計）人： | 畢果;郭隱彪;楊峰;韓偉 | 申請（專利權）人： | 廈門大學 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 廈門南強之路專利事務所 35200 | 代理人： | 馬應森;劉勇 |
| 地址： | 361005 *** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光 工件 表面 輪廓 頻段 誤差 分離 方法 | ||
【權利要求書】：
1.拋光工件表面輪廓各頻段誤差的分離方法，其特征在于包括以下步驟：
1)采用光學檢測裝置得到被測光學元件表面的檢測曲線，對檢測曲線進行擬合，得到擬合曲線和殘差；
2)將殘差進行經驗模態分解得到各階固有模態函數和剩余信號；
3)計算各階固有模態函數的瞬時頻率曲線及其平均波長；
4)根據各階固有模態函數的平均波長及其特征將所有固有模態函數分為高、中、低頻組，將高頻和中頻組進行組內疊加得到光學表面輪廓的高頻和中頻誤差；將低頻組、剩余信號及擬合曲線疊加得到包含低頻誤差的面形。
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