[發明專利]一種Z-θx-θy三自由度抗彎矩高精度工作臺有效
| 申請號： | 201210331302.8 | 申請日： | 2012-09-10 |
| 公開（公告）號： | CN103000231A | 公開（公告）日： | 2013-03-27 |
| 發明（設計）人： | 譚大川;翟嘉;吳永前;張燦 | 申請（專利權）人： | 中國科學院光電技術研究所 |
| 主分類號： | G12B9/08 | 分類號： | G12B9/08 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251 | 代理人： | 成金玉;盧紀 |
| 地址： | 610209 *** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 自由度 彎矩 高精度 工作臺 | ||
1.一種Z-θx-θy三自由度抗彎矩高精度工作臺，其特征在于包括：壓電陶瓷驅動器螺釘(1)、壓電陶瓷驅動器端蓋(2)、壓電陶瓷驅動器端蓋螺釘(3)、壓電陶瓷驅動器(4)、圓筒(5)、圓形片工作臺(6)、彈性頂緊機構端蓋(7)、彈性頂緊機構端蓋螺釘(8)、彈性頂緊機構頂絲(9)及彈性頂緊機構(10)；
其中，在圓形片工作臺(6)的一側設有3支壓電陶瓷驅動器(4)，壓電陶瓷驅動器(4)為圓周均布，壓電陶瓷驅動器(4)的工作端與圓形片工作臺(6)緊密接觸；壓電陶瓷驅動器(4)的固定端通過壓電陶瓷驅動器螺釘(1)與壓電陶瓷驅動器端蓋(2)緊密固定；圓形片工作臺(6)的另一側，與壓電陶瓷驅動器(4)相對應的位置設有3支彈性頂緊機構(10)，每支彈性頂緊機構(10)通過彈性頂緊機構頂絲(9)定位在彈性頂緊機構端蓋(7)上；壓電陶瓷驅動器端蓋(2)和彈性頂緊機構端蓋(7)分別通過壓電陶瓷驅動器端蓋螺釘(3)和彈性頂緊機構端蓋螺釘(8)與外筒(5)緊密固定；圓形片工作臺(6)與圓筒(5)相接觸面為球面，圓形片工作臺(6)與圓筒(5)為微間隙配合。
2.根據權利要求1所述的Z-θx-θy三自由度抗彎矩高精度工作臺，其特征在于：所述圓形片工作臺(6)與圓筒(5)相接觸面為球面，且球面直徑略小于圓筒(5)內徑。
3.根據權利要求1所述的Z-θx-θy三自由度抗彎矩高精度工作臺，其特征在于：所述彈性頂緊機構(10)為彈簧機構、柔性鉸鏈機構或彈性片機構。
4.根據權利要求1所述的Z-θx-θy三自由度抗彎矩高精度工作臺，其特征在于：為了提高所述Z-θx-θy三自由度抗彎矩高精度工作臺的精度，Z-θx-θy三自由度抗彎矩高精度還包括一個計算機，所述的計算機用于輸出電壓信號給3支壓電陶瓷驅動器(4)，并控制壓電陶瓷驅動器(4)的伸長量。
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