[發明專利]一種掩模框架及其對應的掩模組件

在審

• 申請號: 201210329270.8
• 申請日: 2012-09-07
• 公開（公告）號: CN103668053A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 魏志凌;高小平;張煒平
• 申請（專利權）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C16/04;H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及電子印刷領域，尤其涉及一種掩模框架及其對應的掩模組件。

背景技術

與現行LCD技術相較，利用有機發光二級管（OLED）技術所制成的顯示器不僅具有可全彩化、反應時間快、高亮度(100-14,000cd/m²)、高流明效率(16-38lm/W)、170度以上的視角、無一般LCD殘影、可制作成大尺寸與可撓曲性面板、能夠在攝氏-30℃-80℃的范圍內作業等優勢，而且制程簡單、整體厚度也能縮小至1mm以下、成本更僅有TFT-LCD的30-40%。因此，利用OLED技術所制成的顯示器深得社會歡迎。

目前，OLED技術所制成的顯示器在小尺寸上已經達到量產，而且相對較為成熟。但為了通過同時制造多個OLED顯示器以實現產量的提高，或者是制造出大尺寸的OLED顯示器，就需要增大傳統大襯底的尺寸，相應的就必須增大用于蒸鍍有機材料的掩模組件的尺寸。

圖1所示是傳統用于蒸鍍有機材料的掩模組件的結構示意圖，其包括外框11及通過焊點120固定在外框11上的掩模部12，掩模部12是通過在兩端施加拉力繃緊后焊接到外框11上，焊接后釋放拉力。掩模組件水平放置時，由于掩模部12沿原來拉力反方向回縮導致外框11上下（圖1中上下方位）支撐部分出現圖中所示內凹現象，從而使得掩模部12出現下垂（特別是掩模部12中間區域），如此造成的后果是蒸鍍得到的圖案位置精度、尺寸大小相對都會有一定的偏差，從而影響產品的質量及良率。

中國專利申請號為2010101136655公開了一種掩模組件及用于使用該掩模組件的平板顯示器的沉積設備，其主要結構在于：掩模組件的外框上設置有橫跨外框構成的開口區域的支撐棒，從而減少掩模部的下垂量。中國專利專利號為01138161.2提供了一種用于制造大尺寸顯示面板的掩模，其包括:具有多個孔的主框架，自掩模根據要制造的尺寸和圖案而裝配在主框架的孔內。以上方式在實現OLED顯示器量產上有一定的作用，但在制作大尺寸顯示屏上依然存在掩模部12下垂問題，影響大尺寸顯示屏制造的良品率和精度要求，因此依然具有一定局限。?

發明內容

有鑒于此，需要克服現有技術中的上述缺陷中的至少一個。本發明提供了一種掩模框架及其對應的掩模組件，

所述掩模框架包括內框,所述內框用來與掩模板周邊連接固定，起到將掩模板繃緊的作用；強化桿,所述強化桿置于所述內框外側與所述內框相互作用，起到減少或彌補當所述內框將所述掩模板繃緊時產生的所述內框邊框向內收縮量的作用；及連接機構，所述連接機構用于連接所述內框和所述強化桿，起到支撐所述強化桿，將所述內框向內收縮的邊框向外進行拉伸，起到減少或彌補當所述內框將所述掩模板繃緊時產生的所述內框邊框向內收縮量的作用。

根據本專利背景技術中對現有技術所述，如圖1所示，當外框11的邊受到向內的拉力時，外框11上下（圖1中上下方位）支撐部分出現圖1所示的內凹現象，從而造成了掩模部的下垂；此時調節所述連接機構則可以降低或彌補外框支撐部分向內凹的情況，改善產品的精度、質量，并提高良品率。

另外，根據本發明公開的掩模框架的還具有如下附加技術特征：

所述內框包括兩組對邊，所述兩組對邊構成一個中空封閉矩形框架。

進一步地，所述封閉矩形框架為一體成型或由所述兩組對邊通過連接部件連結構成。

本發明公開的一種掩模框架更傾向于解決制備大尺寸面板的產品，雖然一體成型的所述封閉矩形框架在此方面有一定的優勢，但當尺寸進一步增大時，則由通過連接部件連接構成的所述封閉矩形框架具有更明顯的優勢。

所述內框和強化桿在接觸部位具有對應的支撐機構，且所述支撐機構使所述內框和所述強化桿連接時具有間隙。

進一步地，所述對應的支撐機構是分別位于所述內框和所述強化桿接觸部位具有定位作用的凸起結構和凹陷結構或者是簡單的單邊凸起結構而無相應的凹陷結構。

簡單的單邊突起結構可以起到造成內框和強化桿之間具有間隙的作用，并且制備起來相對更加簡單，成本低廉；而具有定位作用的凸起結構和凹陷結構則使定位更加精確。

優選地，所述具有定位作用的凸起結構和凹陷結構是半徑相同、配合后二者能夠實現重合的圓柱體或者是可配合的梯形凸起結構和可與所述梯形凸起結構配合定位的凹陷結構或者是n大于等于1個柱狀凸起結構和可與所述柱狀凸起結構配合的凹陷結構，所述柱狀突起結構和所述柱狀凸起結構配合的凹陷結構的中心線重合且垂直于所述接觸部位表面。

所述連接機構是螺絲結構。

優選地，所述螺絲結構為密紋螺絲結構。