[發明專利]小型溫度補償石英加速度計伺服電路

有效

• 申請號: 201210329144.2
• 申請日: 2012-09-07
• 公開（公告）號: CN102830248A
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發明（設計）人: 盧劍寒;李波;聶月萍;張劍;周峻霖;劉鵬
• 申請（專利權）人: 中國兵器工業集團第二一四研究所蘇州研發中心
• 主分類號: G01P15/00
• 分類號: G01P15/00
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛

技術領域

本發明涉及一種應用于石英撓性加速度計的厚膜伺服電路，具體地說，涉及一種石英撓性加速度計增加了環境溫度檢測功能并輸出準確數值以供補償校正的一體化厚膜伺服電路。

背景技術

目前用于較高精度的加速度的測試，主要使用石英撓性加速度計。其配套的伺服電路主要有分立器件組成PCB板級和厚膜集成電路兩種，其中使用厚膜集成的電路和加速度計可以裝配在一起，使得系統體積較小，可靠性更高。

但是由于使用環境和工作時間的不同，環境溫度對加速度計的有較大的影響，必然會造成一定的誤差，使得在某些地區和環境下使用時，加速度的測量出現偏差，從而影響到加速度的測試精度。

發明內容

本發明的目的是提供一種對石英加速度計實際的環境溫度進行檢測，并輸出準確的數值，提供給后級的信號處理單元補償校正使用的小型溫度補償石英加速度計伺服電路。

為達到上述目的，本發明采用的技術方案是：

一種小型溫度補償石英加速度計伺服電路，用于配套石英撓性加速度計，其包括伺服電路，其還包括檢測所述的石英撓性加速度計的工作環境溫度的溫度傳感器。

優選的，所述的伺服電路包括電源部分、與所述的石英撓性加速度計相連接的差動電容檢測部分、與所述的差動電容檢測部分相連接的前置放大部分、與所述的前置放大部分相連接的跨導放大部分、連接于所述的跨導放大部分與所述的前置放大部分之間構成負反饋閉環系統的校正網絡部分。

優選的，所述的跨導放大部分的輸出端與所述的石英撓性加速度計的電磁力矩器相連接。

優選的，所述的溫度傳感器的輸入端與所述的電源部分相連接，所述的溫度傳感器的輸出端連接至所述的小型溫度補償石英加速度計伺服電路的一只非主要功能的外引腳并通過其輸出由溫度信號轉變的電流信號。

優選的，所述的溫度傳感器所測試溫度的范圍為-55℃至+150℃。

優選的，所述的溫度傳感器的工作電壓范圍為+4V至+30V，所述的溫度傳感器的輸出為與溫度成正比的線性電流輸出。

優選的，所述的石英撓性加速度計連接有后級的信號處理單元，所述的溫度傳感器的輸出提供給所述的信號處理單元用做溫度補償校正。

優選的，所述的伺服電路和所述的溫度傳感器均通過厚膜工藝生產制造。

由于上述技術方案運用，本發明與現有技術相比具有下列優點：由于本發明的伺服電路設置有溫度傳感器，其可以檢測石英加速度計的實際環境溫度并輸出與環境溫度成正比的電流信號，以供后級信號處理單元補償校正使用，從而降低環境溫度對加速度計的影響，提高加速度計的測試精度。

附圖說明

附圖1為本發明的小型溫度補償石英加速度計伺服電路的原理框圖。

具體實施方式

下面結合附圖所示的實施例對本發明作進一步描述。

實施例一：參見附圖1所示。

一種小型溫度補償石英加速度計伺服電路，用于配套石英撓性加速度計。其包括伺服電路、檢測石英撓性加速度計的工作環境溫度的溫度傳感器。

伺服電路包括電源部分、與石英撓性加速度計相連接的差動電容檢測部分、與差動電容檢測部分相連接的前置放大部分、與前置放大部分相連接的跨導放大部分、連接于跨導放大部分與前置放大部分之間構成負反饋閉環系統的校正網絡部分。跨導放大部分的輸出端與石英撓性加速度計的電磁力矩器相連接。

溫度傳感器的輸入端與電源部分相連接，溫度傳感器的輸出端連接至小型溫度補償石英加速度計伺服電路的一只非主要功能的外引腳并通過其輸出溫度信號。石英撓性加速度計連接有后級的信號處理單元，溫度傳感器的輸出提供給信號處理單元用做溫度補償校正。溫度傳感器所測試溫度的范圍為-55℃至+150℃，工作電壓范圍為+4V至+30V，溫度傳感器的輸出為與溫度成正比的線性電流It。

伺服電路和溫度傳感器通過厚膜工藝生產制造（溫度傳感器為半導體芯片，其通過厚膜工藝裝配于伺服電路中），電路的厚膜元件和厚膜導帶等均使用合適的設計尺寸，必要時使用疊層技術，使得生產的小型溫度補償石英加速度計伺服電路既滿足設計規劃和國標要求，也滿足用戶的實際使用要求。