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[發明專利]過濾裝置及應用該過濾裝置的真空鍍膜裝置無效

專利信息
申請號: 201210329087.8 申請日: 2012-09-07
公開(公告)號: CN103657228A 公開(公告)日: 2014-03-26
發明(設計)人: 黃登聰;彭立全 申請(專利權)人: 鴻富錦精密工業(深圳)有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
主分類號: B01D35/06 分類號: B01D35/06;C23C14/22
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 518109 廣東省深圳市*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 過濾 裝置 應用 真空鍍膜
【說明書】:

技術領域

發明涉及一種過濾裝置及應用該過濾裝置的真空鍍膜裝置。

背景技術

現有的真空鍍膜裝置,通常設置有一循環冷卻裝置,用以對真空鍍膜裝置的真空泵、靶源及反應室腔壁等部件進行冷卻處理,避免上述部件因過熱而損壞。

為了降低成本,自來水作為冷卻水被廣泛應用于鍍膜工藝中。雖然循環冷卻裝置的水管一般為不銹鋼材質,但自來水中含有少量Na+、Mg+及Cl-等容易使不銹鋼材質發生腐蝕反應的離子,長期使用后,水管的內周壁仍會發生一定的腐蝕反應,并在冷卻水中產生褐色或紅色的絮狀物。該絮狀物的主要成分為鐵銹。當上述絮狀物積累較多時,將會沉積在待冷卻部件內部和水管內周壁上,特別是靶源的磁芯上將吸附大量的絮狀物。如此將降低冷卻效率,同時加速水管內表面的腐蝕反應并產生更多的絮狀物。雖然可通過拆卸、清洗靶源,以去除沉積于靶芯上的絮狀物,但耗費人力成本較大、并容易造成停工損失。另外,無法對循環冷卻裝置的水管內周壁進行直接清洗。

發明內容

鑒于此,本發明提供一種冷卻液過濾裝置。

另外,本發明還提供一種應用所述的過濾裝置的真空鍍膜裝置。

一種過濾裝置,其包括管道裝置、電磁發生裝置、一磁吸附裝置及一物理吸附裝置,該管道裝置包括一主體管、分別與主體管連通的第一支管及一第二支管,該電磁發生裝置套設在該主體管鄰近該第一支管的一端。該磁吸附裝置可拆卸地容置在該第一支管內,該物理吸附裝置可移動地安裝在該主體管內。

一種應用所述的過濾裝置的真空鍍膜裝置,該真空鍍膜裝置包括一循環冷卻裝置,該循環冷卻裝置包括一進水管及一出水管,該過濾裝置的主體管靠近該第一支管的一端與該出水管連接,該主體管遠離該第一支管的一端與該進水管連接。

該過濾裝置可大大降低冷卻水中的雜質,提高與該過濾裝置連接的冷卻水循環裝置的冷卻效率,還可延長冷卻水循環裝置及被冷卻裝置的使用壽命。

附圖說明

圖1為本發明較佳實施例的過濾裝置的剖視示意圖。

圖2為圖1所示電磁發生裝置套設于主體管的剖視示意圖。

圖3為圖1中所示磁吸附裝置的示意圖。

圖4為圖1中所示電磁發生裝置產生電磁場的狀態示意圖。

圖5為圖1中所示電磁發生裝置產生電磁場的另一狀態示意圖。

圖6為圖1所示過濾裝置的使用狀態示意圖。

圖7為應用圖1所示過濾裝置的真空鍍膜裝置的示意圖。

主要元件符號說明

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