[發明專利]過濾裝置及應用該過濾裝置的真空鍍膜裝置

無效

• 申請號: 201210329087.8
• 申請日: 2012-09-07
• 公開（公告）號: CN103657228A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 黃登聰;彭立全
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: B01D35/06
• 分類號: B01D35/06;C23C14/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種過濾裝置及應用該過濾裝置的真空鍍膜裝置。

背景技術

現有的真空鍍膜裝置，通常設置有一循環冷卻裝置，用以對真空鍍膜裝置的真空泵、靶源及反應室腔壁等部件進行冷卻處理，避免上述部件因過熱而損壞。

為了降低成本，自來水作為冷卻水被廣泛應用于鍍膜工藝中。雖然循環冷卻裝置的水管一般為不銹鋼材質，但自來水中含有少量Na⁺、Mg⁺及Cl^-等容易使不銹鋼材質發生腐蝕反應的離子，長期使用后，水管的內周壁仍會發生一定的腐蝕反應，并在冷卻水中產生褐色或紅色的絮狀物。該絮狀物的主要成分為鐵銹。當上述絮狀物積累較多時，將會沉積在待冷卻部件內部和水管內周壁上，特別是靶源的磁芯上將吸附大量的絮狀物。如此將降低冷卻效率，同時加速水管內表面的腐蝕反應并產生更多的絮狀物。雖然可通過拆卸、清洗靶源，以去除沉積于靶芯上的絮狀物，但耗費人力成本較大、并容易造成停工損失。另外，無法對循環冷卻裝置的水管內周壁進行直接清洗。

發明內容

鑒于此，本發明提供一種冷卻液過濾裝置。

另外，本發明還提供一種應用所述的過濾裝置的真空鍍膜裝置。

一種過濾裝置，其包括管道裝置、電磁發生裝置、一磁吸附裝置及一物理吸附裝置，該管道裝置包括一主體管、分別與主體管連通的第一支管及一第二支管，該電磁發生裝置套設在該主體管鄰近該第一支管的一端。該磁吸附裝置可拆卸地容置在該第一支管內，該物理吸附裝置可移動地安裝在該主體管內。

一種應用所述的過濾裝置的真空鍍膜裝置，該真空鍍膜裝置包括一循環冷卻裝置，該循環冷卻裝置包括一進水管及一出水管，該過濾裝置的主體管靠近該第一支管的一端與該出水管連接，該主體管遠離該第一支管的一端與該進水管連接。

該過濾裝置可大大降低冷卻水中的雜質，提高與該過濾裝置連接的冷卻水循環裝置的冷卻效率，還可延長冷卻水循環裝置及被冷卻裝置的使用壽命。

附圖說明

圖1為本發明較佳實施例的過濾裝置的剖視示意圖。

圖2為圖1所示電磁發生裝置套設于主體管的剖視示意圖。

圖3為圖1中所示磁吸附裝置的示意圖。

圖4為圖1中所示電磁發生裝置產生電磁場的狀態示意圖。

圖5為圖1中所示電磁發生裝置產生電磁場的另一狀態示意圖。

圖6為圖1所示過濾裝置的使用狀態示意圖。

圖7為應用圖1所示過濾裝置的真空鍍膜裝置的示意圖。

主要元件符號說明