[發明專利]一種陣列基板檢測設備

有效

• 申請號: 201210328378.5
• 申請日: 2012-09-06
• 公開（公告）號: CN102854200A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 趙海生;林子錦;裴曉光;田超;張鐵林;林金升;韓金永
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01N21/94
• 分類號: G01N21/94
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種陣列基板檢測設備。

背景技術

近年來，平板顯示技術發展迅速，產品的不良也多種多樣。為了既滿足客戶的需求，又達到低成本的目的，提高產品的良品率是每個廠家一直追求的目標。

相應地，在制作產品的過程中，有多種陣列基板檢測設備，用于在制作完每一道工序之后檢測產品是否存在導致不良的因素，以便后續及時處理導致不良的因素。在制作薄膜晶體管（Thin?Film?Transistor，TFT）液晶顯示器件的陣列基板的過程中，涉及到對陣列基板上的電路（簡稱陣列電路）的檢測。陣列電路光學檢測設備（Pattern?Inspection，PI）專門用于檢測陣列基板上的陣列電路的顆粒。該顆粒可能來自空氣中的塵埃或者來自鍍膜過程中的污漬，但是當該顆粒足夠大時，可以損壞后續陣列電路電學檢測設備。因此，PI將陣列電路中存在的顆粒及時檢測出來，將高度較高的顆粒加以標記，并在電學檢測設備檢測電路之前，及時處理掉這些較大的顆粒。這些顆粒一旦沒有被及時處理，不但損壞檢測設備還會造成產品的不良。即所述顆粒可以導致產品不良。

PI設備是一種光學陣列基板檢測設備，具體地，通過PI設備中的圖像采集裝置，如相機，獲取陣列基板上的顆粒的灰度圖像，通過對顆粒圖像的觀測和分析對可能會導致產品不良的顆粒進行處理。對陣列電路的檢測還包括一種電學檢測設備（Array?Tester，AT），用于在陣列基板上的陣列電路上電的情況下，檢測陣列電路是否存在導致不良的因素。這種檢測設備主要檢測電路部件被劃傷等問題。當陣列基板上存在導致不良的顆粒，并且該顆粒的高度較高時，會將AT檢測設備上的相關薄膜損壞，導致AT檢測設備的破損。由于AT檢測設備非常昂貴。因此，對電路進行AT檢測之前需要將陣列電路上的高度較高的顆粒處理掉，避免后續工藝中損壞AT檢測設備。

如圖1所示，現有的PI設備中的圖像采集設備30的鏡頭的出射光線40的方向為垂直方向，即出射光線與陣列基板10的夾角為90度。檢測出來的顆粒圖像無法顯示陣列基板10上的顆粒20的高度。因此，目前還沒有專門的檢測陣列基板10上的顆粒20的高度的陣列基板檢測設備。

發明內容

本發明實施例提供一種陣列基板檢測設備，用以通過從不同角度照射被測物從同一角度采集被測物的圖像，或者從不同角度采集被測物同一部位的圖像，通過所述采集到的圖像檢測被測物的高度。

本發明實施例提供的一種陣列基板檢測設備，包括：

檢測設備本體、設置于所述檢測設備本體上的圖像采集裝置、高度計算裝置以及報警裝置，所述圖像采集裝置采集被測物在不同于垂直方向上的至少兩個角度上的圖像的數據信息，并傳送給所述高度計算裝置；所述高度計算裝置用于根據所述圖像采集裝置采集的所述圖像的數據信息，計算出所述被測物的高度；所述報警裝置與所述高度計算裝置進行通訊，用于在被測物的高度超過預設值時實施報警。

本發明提供的陣列基板檢測設備，通過從不同角度照射或者以圖像采集裝置從不同角度采集被測物同一部位的圖像的數據信息（該數據信息可以是被測物的圖像，也可以是被測物的影子圖像），由高度計算裝置利用所述圖像采集裝置采集到的圖像計算出所述被測物的高度。優選地，所述不同的角度是不同于垂直方向的至少兩個角度。通過所述檢測設備檢測陣列基板上的被測物（如顆粒或污漬）的高度，可以避免較高的被測物對后續電學檢測設備造成一定的影響或損壞電學檢測設備。

附圖說明

圖1為現有陣列檢測設備檢測被測物是否存在的簡單系統示意圖；

圖2為本發明實施例一提供的陣列基板檢測設備結構示意圖；

圖3為本發明實施例二提供的陣列基板檢測設備結構示意圖；

圖4為本發明實施例三提供的陣列基板檢測設備結構示意圖；

圖5為本發明實施例四提供的陣列基板檢測設備結構示意圖；

圖6為本發明實施例五提供的陣列基板檢測設備結構示意圖；

圖7為本發明實施例六提供的陣列基板檢測設備結構示意圖。

具體實施方式

本發明實施例提供了一種陣列基板檢測設備，用以通過從不同角度照射被測物從同一角度采集被測物的圖像，或者從不同角度采集被測物同一部位的圖像，檢測被測物的高度。

本發明實施例提供的陣列基板檢測設備，通過從不同角度照射被測物從同一角度采集被測物的圖像的數據信息，或者從不同角度采集被測物同一部位的圖像的數據信息，將采集到的圖像的數據信息發送至高度計算裝置，高度計算裝置根據接收到的數據信息計算出被測物的高度。