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[發明專利]太陽能電池用鍺錫共摻單晶硅及其制備方法有效

專利信息
申請號: 201210327712.5 申請日: 2012-09-06
公開(公告)號: CN102828243A 公開(公告)日: 2012-12-19
發明(設計)人: 張群社;祁偉 申請(專利權)人: 西安隆基硅材料股份有限公司;無錫隆基硅材料有限公司;寧夏隆基硅材料有限公司;銀川隆基硅材料有限公司
主分類號: C30B29/06 分類號: C30B29/06;H01L31/0288
代理公司: 西安弘理專利事務所 61214 代理人: 羅笛
地址: 710100 陜西*** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 太陽能電池 用鍺錫共摻 單晶硅 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種太陽能電池用鍺錫共摻單晶硅,其特征在于:單晶硅中摻雜有三種雜質,該三種雜質在單晶硅中最終的原子體積濃度分別為:電活性雜質為1013~1021atoms/cm3,鍺為1016~1019atoms/cm3,錫為1013~1016atoms/cm3

2.根據權利要求1所述的太陽能電池用鍺錫共摻單晶硅,其特征在于:所述的電活性雜質選用磷、硼、砷、銻或鎵。

3.根據權利要求1或2所述的太陽能電池用鍺錫共摻單晶硅,其特征在于:所述的鍺、錫,均選用5N純度以上的高純單質,或是高純含鍺、錫元素的化合物。

4.一種太陽能電池用鍺錫共摻單晶硅的制備方法,其特征在于,按照以下步驟實施:

在太陽能級多晶硅原料中同時摻入質量濃度為10ppbw~1%的電活性雜質、10ppmw~0.5%的鍺、10ppbw~10ppmw的錫,通過常規CZ法制得單晶硅,單晶硅中的上述三種雜質的最終原子體積濃度分別為:電性雜質為1013~1021atoms/cm3,鍺為1016~1019atoms/cm3,錫為1013~1016atoms/cm3,即成。

5.根據權利要求4所述的太陽能電池用鍺錫共摻單晶硅制備方法,其特征在于:所述的電活性雜質選用磷、硼、砷、銻或鎵。

6.根據權利要求4或5所述的太陽能電池用鍺錫共摻單晶硅制備方法,其特征在于:所述的鍺、錫,均選用5N純度以上的高純單質,或是高純含鍺、錫元素的化合物。

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