[發(fā)明專利]光拾波器裝置所搭載的透鏡

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210326157.4
• 申請日: 2012-09-05
• 公開（公告）號: CN102998722A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 水口麻美;清水孝行;杉靖幸
• 申請（專利權(quán)）人: 日立麥克賽爾株式會社
• 主分類號: G02B1/11
• 分類號: G02B1/11;G02B3/00;G11B7/1372
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 張寶榮

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光拾波器裝置所搭載的透鏡，涉及配備有在三個波長區(qū)域具有適當(dāng)?shù)耐干渎实姆婪瓷淠さ墓馐安ㄆ餮b置所搭載的透鏡。

背景技術(shù)

在光拾波器用的準(zhǔn)直透鏡和物鏡等一般的透鏡中，為了提高透射率和耐光性而附著防反射膜。在3種波長用的防反射膜等、使390～430nm的波長的光束和630～800nm的波長的光束的反射得以防止的防反射膜中，提出有反射率極小值在上述390～430nm和630～800nm附近這兩處具有極小值的防反射膜。另外近年來，也公開有在雙層構(gòu)造的防反射膜中、在390～430nm和630～800nm這兩處能夠具有極小值的情形，雙層的這種防反射膜具有制造上有利等優(yōu)點。

但是，這樣的防反射膜，各層的膜變厚。在專利文獻(xiàn)1中，在表1至表3中，介紹了幾個在光拾波器透鏡所常用的使用了Ta₂O₅和SiO₂的防反射膜的例子。使用了Ta₂O₅和SiO₂的防反射膜，多是從耐光性的觀點出發(fā)而被常用的光學(xué)材料。

若調(diào)查專利文獻(xiàn)1的防反射膜Ta₂O₅膜的合計的厚度，則在專利文獻(xiàn)1的實施例1中為121.34nm，在實施例3中為149.36nm，在實施例4中為139.6nm，在實施例6中為127.36nm，在實施例7中為154.25nm，在實施例8中為146.56nm，在實施例14中為152.66和131.13nm，為100nm以上。另外，因為透鏡的面為兩面，所以若將這些防反射膜附著在兩面，則Ta₂O₅膜的合計的厚度為200nm以上。

可是，根據(jù)防反射膜的材料，已知存在因材料造成的光吸收。在圖13中示出作為實驗條件1的防反射膜的膜厚。容易發(fā)生光吸收的高折射率材料的Ta₂O₅膜的膜厚，在R1面為129.68nm，在R2面為157.14nm。

圖14中示出實驗條件1的透射率，圖15中示出實驗條件1的R1面?zhèn)鹊姆瓷渎?，圖16中示出實驗條件1的R2面?zhèn)鹊姆瓷渎省Ｗx取了圖14至圖16的刻度的值在圖17中示出。根據(jù)圖17，波長405nm的防反射膜的透射率其設(shè)計值為98.38％、其實測值為91.92％，波長660nm的透射率其設(shè)計值為97.61％、其實測值為97.84％，波長780nm的透射率其設(shè)計值為98.15％、其實測值為97.90％。波長660nm和波長780nm下，透射率的設(shè)計值與實測值的差在0.3％以內(nèi)，如設(shè)計這樣的透射率的值出現(xiàn)，但在波長405nm下，設(shè)計值與實測值的差為6.46％。

在此，透射率與R1面?zhèn)鹊姆瓷渎屎蚏2面?zhèn)鹊姆瓷渎氏嗉討?yīng)該為100％。若試著看波長405nm下的反射率，則R1面?zhèn)鹊姆瓷渎实膶崪y值為1.96％，R2面?zhèn)鹊姆瓷渎实膶崪y值為3.46％。若將其合計則為97.33％，有2.67％的不清楚的量。這被認(rèn)為是由于防反射膜材料的光吸收造成的透射率的降低。

接著，在圖18作為實驗條件2示出反射率的膜厚。容易發(fā)生光吸收的高折射率材料的Ta₂O₅膜的膜厚，在R1面為150nm，在R2面為50nm。

圖19中示出實驗條件2的透射率，圖20中示出實驗條件2的R1面?zhèn)鹊姆瓷渎剩瑘D21中示出實驗條件2的R2面?zhèn)鹊姆瓷渎省Ｗx取了圖19至圖21的刻度的值在圖22中示出。根據(jù)圖22，波長405nm下透射率其設(shè)計值為98.92％、其實測值為98.26％，波長660nm下透射率其設(shè)計值為98.80％、其實測值為98.09％，波長780nm下透射率其設(shè)計值為97.44％、其實測值為96.43％。

在圖22中，波長405nm、波長660nm、波長780nm的波長的防反射膜材料的光吸收造成的透射率的降低量(吸收率)分別為0.85％、0.30％、0.53，波長405nm、波長660nm、波長780nm的全部的波長下，透射率的設(shè)計值和實測值的差在1.0％以內(nèi)，能夠得到大致如設(shè)計那樣的透射率。

根據(jù)以上的結(jié)果，在高折射率材料的膜厚為厚的透鏡中，短波長的405nm下發(fā)生光的吸收。此外將上述實驗條件1和實驗條件2的結(jié)果匯總示出在圖23中。因為認(rèn)為吸收量與膜的厚度成比例，所以由上述實驗1和2可知如下關(guān)系成立：

吸收率(％)＝0.0098×高折射率材料膜厚(nm)(式1)

【先行技術(shù)文獻(xiàn)】

【專利文獻(xiàn)】