[發明專利]提高制絨或濕法刻蝕設備各軌道腐蝕量均勻性的方法有效
| 申請號： | 201210323737.8 | 申請日： | 2012-09-04 |
| 公開（公告）號： | CN102797041A | 公開（公告）日： | 2012-11-28 |
| 發明（設計）人： | 范志東;趙學玲;郭延嶺 | 申請（專利權）人： | 英利能源（中國）有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10;C23F1/24 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 吳貴明;余剛 |
| 地址： | 071051 河*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 提高 濕法 刻蝕 設備 軌道 腐蝕 均勻 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種提高制絨或濕法刻蝕設備各軌道腐蝕量均勻性的方法，其特征在于，包括以下步驟：
1）檢測各軌道內硅片的腐蝕量；
2）調整腐蝕量偏大或偏小的軌道上的導輪直徑，通過控制所述導輪上的硅片進入所述設備中各軌道的藥液深度從而增加或者減小所述硅片的腐蝕量，最終使各道內所述硅片的腐蝕量相一致。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，將所述步驟2）中硅片的腐蝕量較其它各軌道腐蝕量高的軌道中的所述導輪的直徑調大。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，將所述步驟2）中硅片的腐蝕量較其它各軌道腐蝕量低的軌道中的所述導輪的直徑調小。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步驟1）之前進一步包括：
對各所述軌道的排風量、藥液配比濃度，溫度、傳輸速度進行調整。
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