[發明專利]含有陀螺儀和加速計的微機電設備

有效

• 申請號: 201210323167.2
• 申請日: 2012-08-28
• 公開（公告）號: CN102997905A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: B·希莫尼;C·瓦爾扎希納
• 申請（專利權）人: 意法半導體股份有限公司
• 主分類號: G01C19/5719
• 分類號: G01C19/5719;G01P15/14
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華;張寧

1.一種微機電設備，包括：

支撐結構(12；112；212)；

第一感測質量體(13a；113a；213a)和第二感測質量體(13b；113b；213b)，均根據第一軸(X；X，Y)并且各自根據與所述第一軸(X；X，Y)垂直的相應第二軸(Y；Ra，Rb；Y，X，Ra，Rb，Rc，Rd)相對于所述支撐結構(12；112；212)可移動；

驅動設備(3)，配置成將所述第一感測質量體(13a；113a；213a)和所述第二感測質量體(13b；113b；213b)維持于相位相反的沿著所述第一軸(X；X，Y)的振蕩；

第一感測組和第二感測組(18；118；218，220)，配置成供應感測信號(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))，所述感測信號(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))指示所述第一感測質量體(13a；113a；213a)和所述第二感測質量體(13b；113b；213b)分別根據所述相應第二軸(Y；Ra，Rb；Y，X，Z，Ra，Rb，Rc，Rd)的移位；

處理部件(7，8)，配置成在第一感測模式中和在第二感測模式中組合所述感測信號(SCa1-SCb2；SCa1-SCd4)以便：

在所述第一感測模式中，放大所述第一感測質量體(13a；113a；213a)和所述第二感測質量體(13b；113b；213b)的協調移位對所述感測信號(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))的影響并且衰減所述第一感測質量體(13a；113a；213a)和所述第二感測質量體(13b；113b；213b)的不協調移位的影響；并且

在所述第二感測模式中，放大所述第一感測質量體(13a；113a；213a)和所述第二感測質量體(13b；113b；213b)的不協調移位對所述感測信號(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))的影響并且衰減所述第一感測質量體(13a；113a；213a)和所述第二感測質量體(13b；113b；213b)的協調移位的影響。

2.根據權利要求1所述的設備，其中所述處理部件(7，8)被配置成組合所述感測信號(SCa1-SCb2；SCa1-SCd4)以便：

在所述第一感測模式中，增添所述支撐結構(12；112；212)沿著與所述第一軸(X；X，Y)垂直的感測軸(Y；Z；Y，X，Z)的加速所引起的所述第一感測質量體(13a；113a；213a)和所述第二感測質量體(13b；113b；213b)的移位對所述感測信號(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))的影響，并且衰減所述支撐結構(12；112；212)繞著與所述第一軸(X；X，Y)垂直的第三軸(Z；Y；Z，X，Y)的旋轉所引起的所述第一感測質量體(13a；113a；213a)和所述第二感測質量體(13b；113b；213b)的移位與沿所述第一軸(X；X，Y)的所述振蕩的組合對所述感測信號(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))的影響；并且

在所述第二感測模式中，增添所述支撐結構(12；112；212)繞著所述第三軸(Z；Y；Z，X，Y)的旋轉所引起的所述第一感測質量體(13a；113a；213a)和所述第二感測質量體(13b；113b；213b)的移位與沿所述第一軸(X；X，Y)的所述振蕩的組合對所述感測信號(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))的影響，并且衰減所述支撐結構(12；112；212)根據所述感測軸(Y；Z；Y，X，Z)的加速所引起的所述第一感測質量體(13a；113a；213a)和所述第二感測質量體(13b；113b；213b)的移位對所述感測信號(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))的影響。

3.根據權利要求1或者2所述的設備，其中所述第一感測組和所述第二感測組(18；118；218，220)為電容型，并且配置成響應于所述第一感測質量體(13a；113a；213a)和所述第二感測質量體(13b；113b；213b)的協調移位呈現協調電容變化而響應于所述第一感測質量體(13a；113a；213a)和所述第二感測質量體(13b；113b；213b)的不協調移位呈現不協調電容變化。

4.根據權利要求3所述的設備，其中所述第一感測組和所述第二感測組(18；118；218，220)為差分型。