[發明專利]一種小型化微機械濾波器

有效

• 申請號: 201210322898.5
• 申請日: 2012-09-04
• 公開（公告）號: CN102790248A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: 杜波;馬晉毅;江洪敏;曹家強;楊靖;蔣欣
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第二十六研究所
• 主分類號: H01P1/203
• 分類號: H01P1/203;B81B1/00
• 代理公司: 北京同恒源知識產權代理有限公司 11275
• 代理人: 趙榮之

1.一種小型化微機械濾波器，包括疊加的上介質層和下介質層，其特征在于：所述上介質層和下介質層之間設置有帶抽頭信號線的交指電極的上介質層下表面金屬電極層以及帶接地電極環的下介質層上表面金屬電極層；所述與下介質層上表面金屬電極層相接觸的下介質層上表面設置有與接地電極環相匹配的空腔；所述上介質層表面上方設置有上介質層上表面金屬層，所述下介質層表面下方設置有下介質層下表面金屬層，所述上介質層上還設置有與上介質層下表面金屬電極層相配合的通孔，所述下介質層上還設置有與下介質層上表面金屬電極層相配合的通孔，所述上介質層上表面金屬層的電極通過上介質層通孔與上介質層下表面金屬電極層的電極連接；所述下介質層下表面金屬層的電極通過下介質層通孔與下介質層上表面金屬電極層的電極連接；所述下介質層上表面金屬電極層的接地電極環與上介質層下表面金屬電極層的接地電極環連接；所述上、下介質層中的任一個介質層表面設有輸入、輸出信號線。

2.根據權利要求1所述的小型化微機械濾波器，其特征在于：所述上介質層下表面金屬電極層、上介質層上表面金屬層、下介質層上表面金屬和下介質層下表面金屬層采用微機械工藝制作。

3.根據權利要求1所述的小型化微機械濾波器，其特征在于：所述上、下介質層通孔內壁制備有金屬層；所述空腔采用干法或濕法刻蝕工藝制備。

4.根據權利要求1-3任一項所述的小型化微機械濾波器，其特征在于：所述上介質層下表面金屬電極層為高電導率材料制作的交指型濾波器結構，交指電極的根數可以根據濾波器指標要求進行調整，所述下介質層上表面金屬電極層為接地電極環。

5.根據權利要求4所述的小型化微機械濾波器，其特征在于：所述空腔位于下介質層上表面的接地電極環中間，且腔體深度小于介質層厚度，腔體側壁傾斜或垂直于介質層表面。

6.根據權利要求5所述的小型化微機械濾波器，其特征在于：所述輸入、輸出信號線設置于上、下介質層厚度較薄的一個介質層表面上，所述輸入、輸出信號線為微帶線或共面波導線。

7.根據權利要求6所述的小型化微機械濾波器，其特征在于：所述輸入輸出信號線與上介質層下表面金屬電極層設置的輸入輸出抽頭線通過上介質層的通孔連接；所述上介質層上表面的接地電極和上介質層下表面金屬電極層接地電極通過上介質層的通孔連接；下介質層下表面的接地電極和下介質層上表面接地電極通過下介質層的通孔連接。

8.根據權利要求7所述的小型化微機械濾波器，其特征在于：所述上、下介質層為高阻硅介質材料或石英介質材料；所述上介質層的厚度小于下介質層厚度。